[发明专利]谐振器装置及优化Q-因子的方法

权利要求书

1.一种谐振器装置(100，200)，包括：

-基板(106，206)，包括锚状物(104，204)；

-与所述锚状物(104，204)相连的振动单元(102，202)；所述振动单元(102，202)被配置为具有期望的第一振动模式(218)；以及

-所述振动单元(102，202)被配置为具有不同于所述第一振动模式(218)的第二振动模式(216)；

其中，第一振动模式(218)与第二振动模式(216)在锚状物(104，204)处相消地干涉。

2.根据权利要求1所述的谐振器装置(100)，所述振动单元(102)是单个振动元件，所述单个振动元件被配置为提供所述第一振动模式和所述第二振动模式。

3.根据权利要求2所述的谐振器装置(100)，

所述基板(106)包括单个锚状物(104)；

所述振动单元(102)是片状的；以及

所述振动单元(102)具有与所述单个锚状物(104)相连的中央部分。

4.根据权利要求1所述的谐振器装置(200)，所述振动单元(202)包括：

-提供所述第一振动模式(218)的第一局部单元(212)；以及

-附着于所述第一局部单元(212)的至少一个第二局部单元(214)，所述第二局部单元提供所述第二振动模式(216)。

5.根据权利要求4所述的谐振器装置(200)，其中所述第二局部单元(216)位于所述锚状物(204)附近。

6.根据权利要求4或5所述的谐振器装置(200)，其中，至少一个第二局部单元(204)是横梁，所述横梁的中心附着于第一局部单元(212，212b)。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的谐振器装置(200)，

基板(206)包括至少一个其它锚状物(204)；

第一局部单元(212)包括片状元件(212a)和至少两个突起物(212b)，其中每个突起物将片状元件(212a)与所述锚状物(204)之一相连；

所述第二局部单元(214)之一附着到每一个突起物(212b)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器装置(100，200)，其中，所述第一振动模式(218)和所述第二振动模式(216)之一是扩张模式，另一个模式是弯曲模式。

9.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器装置(100，200)，其中，第二振动模式谐振频率与第一振动模式谐振频率的比率具有0.9和1.1之间的值。

10.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器装置(100，200)，其中，第二振动模式谐振频率大于第一振动模式谐振频率。

11.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器装置(100，200)，其中，第二振动模式谐振频率实质上等于第一振动模式谐振频率。

12.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器装置(100，200)，其中，所述谐振器装置(100，200)是微机电系统。

13.一种优化谐振器装置(100，200)的Q-因子的方法，所述谐振器装置(100，200)包括与锚状物相连的振动单元(102，202)，所述方法包括：

-将所述振动单元(102，202)配置为具有期望的第一振动模式(218)；以及

-将所述振动单元(102，202)配置为具有不同于第一振动模式(218)的第二振动模式(216)；

其中，第一振动模式(218)与第二振动模式(216)在锚状物处相消地干涉。

14.根据权利要求13的方法，其中，

-将振动单元(102)配置为具有期望的第一振动模式包括配置所述振动单元(102)的片状元件的横向尺寸，使得所述片状元件具有扩张模式形式的所述第一振动模式；以及

-将所述振动单元(102)配置为具有第二振动模式包括配置所述片状元件的厚度，使得所述片状元件具有弯曲模式形式的所述第二振动模式。

15.根据权利要求13的方法，其中，

-将振动单元(202)配置为具有期望的第一振动模式(218)包括配置所述振动单元(202)的第一局部单元，使得所述第一局部单元提供所述第一振动模式(218)；以及

-将所述振动单元(202)配置为具有第二振动模式(216)包括配置所述振动单元(202)的至少一个第二局部单元以及将所述振动单元(202)的至少一个第二局部单元附着于第一局部单元，所述第二局部单元提供所述第二振动模式(216)。