[发明专利]通过不可蒸发的钇基吸气合金从氢敏感装置移除氢的方法有效
| 申请号： | 201080012069.6 | 申请日： | 2010-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102356170A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | A·科达;A·加里托格诺塔;A·孔特;C·德拉戈尼;A·科拉扎 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C22C28/00 | 分类号： | C22C28/00;H01J7/18;H01J61/26;H01L23/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 不可 蒸发 吸气 合金 敏感 装置 方法 | ||
1.通过不可蒸发的吸气合金从对氢敏感的装置移除氢的方法，所述不可蒸发的吸气合金包含由钇或钇等同混合物构成的第一元素和选自Si、B、Ge、Pd、Cd、In、Sb、Tl、Pb、Ag的第二元素，其中所述第一元素的原子百分比是：
-65-98％，如果所述第二元素选自Si、Ge、Pd、Cd、In、Sb、Tl、Pb、Bi；
-50-98％，如果所述第二元素是Ag，或
-30-98％，如果所述第二元素是B。
2.根据权利要求1的方法，其中将所述合金加热到等于或高于100℃的温度。
3.根据权利要求1的方法，其中所述第一和第二元素占不可蒸发的吸气合金的至少75％。
4.根据权利要求1的方法，其中所述第一和第二元素占不可蒸发的吸气合金的至少90％。
5.根据权利要求1的方法，其中所述第二元素的原子百分比为至少5％。
6.根据权利要求1的方法，其中所述第二元素的原子百分比为至少8％。
7.根据权利要求1的方法，其中所述第一元素基本由钇构成。
8.根据权利要求1的方法，其中所述钇等同混合物包含至少95原子％的钇，且余量部分基本由稀土构成。
9.根据权利要求8的方法，其中所述吸气合金以薄膜形式存在。
10.根据权利要求9的方法，其中所述膜通过溅射或电子-束蒸发制得。
11.根据权利要求1的方法，其中所述不可蒸发的吸气合金容纳在气体净化系统中。
12.氢敏感装置，其特征在于通过不可蒸发的吸气合金移除氢，所述不可蒸发的吸气合金包含由钇或钇等同混合物构成的第一元素和选自Si、B、Ge、Pd、Cd、In、Sb、Tl、Pb、Bi、Ag的第二元素，其中所述第一元素的原子百分比是：
-65-98％，如果所述第二元素选自Si、Ge、Pd、Cd、In、Sb、Tl、Pb、Bi；
-50-98％，如果所述第二元素是Ag，或
-30-98％，如果所述第二元素是B。
13.根据权利要求12的氢敏感装置，其中所述装置是太阳能收集器。
14.根据权利要求13的太阳能收集器，其中所述第二元素是硅或锑。
15.根据权利要求12的氢敏感装置，其中所述装置是照明灯。
16.根据权利要求15的灯，其中所述第二元素选自Si、B、Ge。
17.根据权利要求12的氢敏感装置，其中所述装置是吸气泵。
18.根据权利要求17的灯，其中所述第二元素选自Si、Sb、Bi。
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