[发明专利]防止熔损用被覆部件

权利要求书

1.一种防止熔损用被覆部件，其是适用于由于与铝金属熔液接触而熔损的母材的被覆部件，其特征在于，通过在所述母材上层叠最下层，和在其上面依次层叠b层、中间层和a层来构成，

所述最下层为Cr金属膜，所述b层是CrN膜，所述中间层是以相同膜不重叠的方式交替地层叠作为a层的TiSiN膜和作为b层的CrN膜的叠层膜，最外层的所述a层是TiSiN膜。

2.权利要求1所述的防止熔损用被覆部件，其特征在于，所述母材是包括不锈钢的铁系材料，钛系材料或硬质材料。

3.权利要求1或2所述的防止熔损用被覆部件，其特征在于，所述作为a层的TiSiN膜中的金属成分的Ti∶Si在90∶10～50∶50(at.％)的范围内。

4.权利要求1～3的任一项所述的防止熔损用被覆部件，其特征在于，形成所述中间层的交替地层叠了a层和b层的叠层膜作为整体为2层以上，所述最下层、所述b层和所述a层各为一层。

5.权利要求1～4的任一项所述的防止熔损用被覆部件，其特征在于，包括层叠在该中间层的两侧的a层和b层的叠层膜的膜厚为2～10μm。

6.权利要求1～5的任一项所述的防止熔损用被覆部件，其特征在于，所述各膜采用物理气相沉积法或等离子化学气相沉积法进行成膜。