[发明专利]具有柔性膜和改进型电致动装置的MEMS结构无效
申请号: | 201080012592.9 | 申请日: | 2010-03-18 |
公开(公告)号: | CN102362330A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | K·塞古尼;N·罗尔菲林 | 申请(专利权)人: | 德尔福芒斯公司 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 蒋世迅 |
地址: | 法国阿*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 柔性 改进型 电致动 装置 mems 结构 | ||
1.一种MEMS结构,包括:柔性膜(6),具有限定纵向(X)的主纵轴(6a);至少一个支柱(3、3’),位于柔性膜(6)下面;电降低致动装置(7),适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态;电升高致动装置(8),适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态,并且其中电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。
2.根据权利要求1所述的MEMS结构,其中膜(6)包括:柔性功能部分(60),位于所述至少一个支柱(3、3’)上方并且适用于利用所述至少一个支柱(3、3’)上的杠杆作用,被向下或者向上弯曲;以及至少一个韧性侧面非功能部分(61b),在横向(Y),位于所述至少一个支柱(3、3’)的外侧,而在纵向(X),在所述至少一个支柱(3或3’)的两侧上延伸,并且其中电降低致动区(7)的致动区(7c)或者电升高致动区(8)的致动区(8c)在所述至少一个侧面非功能部分(61b)下面延伸并且适用于在纵向(X),在所述至少一个支柱(3、3’)的两侧上,同时对膜(6)的所述至少一个侧面非功能部分(61b)施加拉力。
3.根据权利要求2所述的MEMS结构,其中膜(6)包括至少两个在横向(Y)位于膜(6)的功能部分(60)的每侧上的侧面柔性非功能部分(61b)。
4.根据权利要求2或者3所述的MEMS结构,进一步包括基底(1),其中在纵向(X),在至少一端,膜(6)的功能部分(60)被延伸中心非功能部分(61a),其中所述中心非功能部分(61a)在横向被延伸至少侧面非功能部分(61b),该侧面非功能部分(61b)在横向(Y)位于所述至少一个支柱(3、3’)的外侧,而在纵向(X)在所述至少一个支柱(3、3’)的两侧延伸,并且其中静止时在基底(1)与所述侧面非功能部分(61b)之间的间隙(g2)小于静止时在膜的功能部分(60)与基底(1)之间的间隙(g1)。
5.根据权利要求2至4中的任何一项所述的MEMS结构,其中膜(6)的功能部分(60)在纵向(X)在至少一端上被延伸中心非功能部分(61a),其中所述中心非功能部分(61a)在横向被延伸至少侧面非功能部分(61b),该侧面非功能部分(61b)在横向(Y)位于所述至少一个支柱(3、3’)的外侧而在纵向(X)在所述至少一个支柱(3、3’)的两侧上延伸,并且侧面非功能部分(61b)的厚度小于膜的功能部分(60)的厚度。
6.根据权利要求2或者3所述的MEMS结构,进一步包括基底(1),其中在纵向(X),在至少一端,膜(6)的功能部分(60)被延伸中心非功能部分(61a),其中膜(6)的功能部分(60)在横向被延伸至少侧面非功能部分(61b),该侧面非功能部分(61b)在横向(Y)位于所述至少一个支柱(3、3’)的外侧,而在纵向(X)在所述至少一个支柱(3或3’)的两侧延伸,并且其中静止时在基底(1)与所述侧面非功能部分(61b)之间的间隙(g2)小于静止时在膜的中心非功能部分(61a)与基底(1)之间的间隙(g1)。
7.根据权利要求2或者3或者6所述的MEMS结构,其中膜(6)的功能部分(60)在纵向(X)在至少一端上被延伸中心非功能部分(61a),其中膜(6)的功能部分(60)在横向被延伸至少侧面非功能部分(61b),该侧面非功能部分(61b)在横向(Y)位于所述至少一个支柱(3、3’)的外侧,而在纵向(X)在所述至少一个支柱(3或3’)的两侧延伸,并且其中侧面非功能部分(61b)的厚度小于膜的中心非功能部分(61a)的厚度。
8.根据权利要求1至7中任何一项所述的MEMS结构,其中电降低致动装置(7)包括在膜(6)的一部分下面延伸,并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3、3’)的两侧上同时对膜(6)的所述部分施加拉力的致动区(7c),而电升高致动装置(8)包括在膜(6)的另一部分下面延伸,并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3、3’)的两侧上对膜(6)的所述其它部分施加拉力的致动区(8c)。
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