[发明专利]形状测定装置

权利要求书

1.一种形状测定装置，通过使探测器与工件表面接触或者相对工 件表面接触移动，来基于上述探测器的移动量对上述工件的表面形状进 行测定，该形状测定装置的特征在于，具备：

上述探测器；

对上述探测器进行轴支承的探测器支承轴；以及

被安装上述探测器支承轴，使上述探测器与上述工件表面的测定位 置接触，并且使上述工件与上述探测器相对移动的探测器驱动装置；

上述探测器是被上述探测器支承轴轴支承的球体，上述球体具有按 照与上述探测器支承轴大致垂直的方式被切割而成的形状的切割面，

在上述工件表面的形状测定中，使上述探测器的上述切割面与上述 工件表面的和包含测定位置的面交叉的面对置，并且使上述球体的表面 与上述工件的测定位置接触来进行测定。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，

上述切割面与隔着上述球体的赤道面同上述切割面相对的上述球 体的顶点之间的垂直方向上的距离为上述球体的半径R以上，

使上述球体的表面中的上述球体的赤道位置与上述工件表面的测 定位置接触。

3.根据权利要求2所述的形状测定装置，其特征在于，

使上述球体的赤道位置与上述工件表面的测定位置接触的位置与 上述切割面之间的、和上述切割面大致垂直的方向上的距离为10μm以 上60μm以下。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的形状测定装置，其特征在 于，

上述探测器在上述球体的除了上述切割面以外的位置设有对上述 球体的一部分进行切割的至少一个以上干涉用切割面。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的形状测定装置，其特征在 于，

上述探测器驱动装置具备：

使上述探测器相对于上述工件在X方向移动的X轴移动机构；

使上述探测器相对于上述工件在与上述X方向垂直的Y方向移动 的Y轴移动机构；

对上述工件进行支承，并且以通过上述工件的大致中心的旋转轴为 中心旋转的旋转机构；以及

对上述X轴移动机构、上述Y轴移动机构以及上述旋转机构的动 作及其停止进行控制，使上述探测器与上述工件的规定位置接触的控制 装置。

6.根据权利要求1～4中任意一项所述的形状测定装置，其特征在 于，

上述探测器驱动装置具备：

使上述探测器相对于上述工件在X方向移动的X轴移动机构；

使上述探测器相对于上述工件在与上述X方向垂直的Y方向移动 的Y轴移动机构；

使上述探测器相对于上述工件在与上述X方向及上述Y方向垂直 的Z方向移动的Z轴移动机构；

使上述探测器以上述探测器支承轴为中心旋转的旋转机构；

对上述探测器的倾斜进行调整的摆动机构；以及

对上述X轴移动机构、上述Y轴移动机构、上述Z轴移动机构、 上述旋转机构以及上述摆动机构的动作及其停止进行控制，使上述探测 器与上述工件表面的测定位置接触的控制装置。