[发明专利]观察设备

权利要求书

1.一种观察设备，包括：

保持单元，用于保持样品或包括所述样品的固体；

切削单元，用于切削保持的所述样品或固体并随后形成新的横截面；

图像捕捉机构，用于捕捉局部图像，所述局部图像是小于所述横截面 的图像捕捉范围之内的图像，并且是包括所述横截面的一部分的图像；

扫描机构，用于沿着所述横截面扫描所述图像捕捉范围；以及

控制装置，用于驱动所述扫描机构并且通过所述图像捕捉机构针对每 个图像捕捉范围捕捉所述局部图像，从而针对每个横截面生成所述横截面 的合成图像的信息，所述合成图像是通过对多个局部图像进行合成而获得 的图像。

2.根据权利要求1所述的观察设备，其中，每当重新形成所述横截 面时，所述控制装置基于所述合成图像的信息来设置其中所述图像捕捉范 围被扫描的扫描区域。

3.根据权利要求2所述的观察设备，其中，基于过去的所述横截面 的合成图像的信息，所述控制装置设置与重新形成的所述横截面相对应的 所述扫描区域。

4.根据权利要求3所述的观察设备，其中，所述控制装置根据过去 的所述横截面的合成图像来执行对应于所述样品的图像的边缘检测，并且 基于检测的边缘的信息来设置所述扫描区域。

5.根据权利要求4所述的观察设备，其中，所述控制装置改变检测 的边缘所包围的图像区域，并且将包括改变之前和之后的图像区域的边缘 的区域设置为所述扫描区域。

6.根据权利要求1所述的观察设备，其中，所述图像捕捉机构捕捉 充当至少包括所述样品的整个横截面的范围之内的图像的整个图像，并且

每当重新形成所述横截面时，所述控制装置基于所述整个图像的信息 来设置对应于所述横截面的扫描区域。

7.根据权利要求1所述的观察设备，其中，所述控制装置将所述切 削单元切削所述样品的间隔控制成可变的。

8.根据权利要求7所述的观察设备，其中，所述控制装置基于所述 合成图像的信息来提取所述样品的图像之内的特征量，并且基于提取的所 述特征量将所述间隔控制成可变的。

9.根据权利要求8所述的观察设备，其中，所述控制装置控制所述 间隔，使得所述间隔随着所述特征量增加而变得更小。