[发明专利]光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种可自由基聚合组合物，其包含：

(a)至少一种可碱显影树脂；

(b)至少一种丙烯酸酯单体；

(c)至少一种光引发剂；和

(d)至少一种式I的羟胺酯化合物

其中

R_a表示酰基；

R_b和R_c中一个表示氢且另一个表示取代基；或

R_b和R_c二者表示氢或者相同或不同的取代基；或

R_b和R_c一起表示氧；或

R_b和R_c一起形成环；

R₁-R₄各自表示C₁-C₆烷基；且

R₅和R₆各自彼此独立地表示氢、C₁-C₆烷基或C₆-C₁₀芳基；或R₅和R₆一起表 示氧。

2.如权利要求1的可自由基聚合组合物，其包含式I的羟胺酯化合物， 其中R_b为氢且R_c为取代基-O-G，从而得到式IA化合物：

其中

n表示1-4的整数；

R_a，R₁-R₆如式I所定义；且

G具有如下含义：

当n＝1时，

G表示氢、可间隔有一个或多个氧原子的C₁-C₃₂烷基，2-氰基乙基，苄基， 缩水甘油基、脂族羧酸的C₂-C₃₂酰基、其中C₂-C₃₂烷基链可间隔有一个或 多个氧原子的脂族羧酸的C₂-C₃₂酰基(C₂-C₃₂-CO-)、脂环族羧酸的C₇-C₁₅酰基、α，β-不饱和羧酸的C₃-C₅酰基或芳族羧酸的C₇-C₁₅酰基，其中羧酸 基团可在脂族、脂环族或芳族部分中被1-3个-COOZ¹基团取代，其中Z¹表示氢、C₁-C₂₀烷基、C₃-C₁₂链烯基、C₅-C₇环烷基、苯基或苄基；或者 当n＝2时，

G表示C₂-C₁₂亚烷基、C₄-C₁₂亚链烯基、亚二甲苯基、脂族二羧酸的C₂-C₃₆酰基、脂环族或芳族二羧酸的C₈-C₁₄酰基或脂族、脂环族或芳族二氨基 甲酸的C₈-C₁₄酰基，其中二羧酸基团可在脂族、脂环族或芳族部分中被1 或2个-COOZ¹基团取代，其中Z¹如上所定义；或者

当n＝3时，

G表示脂族、脂环族或芳族三羧酸的三价酸基，其中所述酸基可在脂族、 脂环族或芳族部分中被基团-COOZ¹取代，其中Z¹如上所定义；或者表示 芳族三氨基甲酸或含磷的酸的三价酸基或三价甲硅烷基；或者

当n＝4时，

G表示脂族、脂环族或芳族四羧酸的四价酸基。