[发明专利]新电介质氧化膜及其制造方法

权利要求书

1.一种制造金属氧化物材料的方法，包括：

a)从包括环氧化物、金属氧化物前体以及溶剂的混合物中产生溶 胶；以及

b)由所述溶胶制备金属氧化物材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述前体是过渡金属的 醇盐或盐，或者是与无机或有机配位体结合的过渡金属离子。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述前体是异丙氧基钛、 乙醇钽、正丙醇锆、乙氧醇铌、或乙醇铪。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述混合物还包括至少一 种改性剂。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述改性剂是过渡金属的 醇盐或盐，或是与无机或有机配位体结合的过渡金属，或其组合。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述改性剂是醋酸铅 (II)、Ba(ClO₄)₂、Bi(NO₃)₃或Al(NO₃)₃。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述混合物还包括共溶 剂。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述混合物还包括水。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述混合物还包括玻璃形 成氧化物前体。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述玻璃形成氧化物前体 是无机玻璃形成氧化物前体。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述玻璃形成氧化物前体 是有机玻璃形成氧化物前体。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述玻璃形成氧化物前体 是H₃BO₃、硼酸三乙酯、原硅酸四乙酯、H₃PO₄、异丙醇锗、 H₃AsO₄、AsCl₃、乙醇碲或TeBr₄。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述玻璃形成氧化物是 SiO₂、B₂O₃、P₂O₅、GeO₂、As₂O₃或TeO₂。

14.根据权利要求9所述的方法，其中所述金属氧化物材料包 括：金属氧化物或包括玻璃态的金属氧化物和非金属氧化物的混合 物；或被玻璃态环绕的结晶氧化物的纳米级颗粒。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述玻璃态是顺电的。

16.根据权利要求14所述的方法，其中所述玻璃态包括形成具 有10或更高的介电常数κ的材料的金属氧化物或金属氧化物和非金 属氧化物的混合物。

17.根据权利要求14所述的方法，其中所述玻璃态包括形成具 有300或更小的介电常数κ的材料的金属氧化物或金属氧化物和非金 属氧化物的混合物。

18.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属氧化物材料具有 大约1.45至大约2.6的折射率n。

19.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属氧化物材料是铁 电的、磁性的或多铁性的。

20.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属氧化物材料是薄 层膜、糊状物、单块或纤维的形式。

21.根据权利要求1所述的方法，其中制备包括干燥所述溶胶来 产生膜，然后烘焙所述膜，退火所述膜，或者既烘焙又退火所述膜。

22.根据权利要求21所述的方法，其中退火包括使用激光来加 热所述膜。