[发明专利]反射度分布曲线的建模方法及应用该方法的厚度检测方法以及厚度检测反射仪

权利要求书

1.一种反射度分布曲线建模方法，针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，其特征在于，包括：

反射度分布曲线制作步骤，制作基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布的反射度分布曲线；

输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分所述强度分布曲线后将其结果设定为所述特定波长的输入强度；

输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由所述反射度分布曲线和所述强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为所述特定波长的输出强度；

积分反射度设定步骤，将把所述特定波长输出强度除以所述特定波长输入强度的商作为所述薄膜层对所述特定波长的积分反射度；及

积分反射度分布曲线的生成步骤，边改变所述特定波长，边重复执行所述输入强度设定步骤、所述输出强度设定步骤及所述积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的所述积分反射度分布的积分反射度分布曲线。

2.根据权利要求1所述的反射度分布曲线建模方法，其特征在于，所述强度分布曲线是通过由线性可变滤波器带通白色光来制作的。

3.一种厚度检测方法，用白色光反射仪检测沉积在衬底层上的薄膜层，其特征在于，包括：

建模步骤，假设有具有不同厚度的多个薄膜层试样，并应用权利要求1或2所述的反射度分布曲线建模方法制备对应每个薄膜层试样的积分反射度分布曲线；

获得步骤，向所述薄膜层照射白色光，获得基于光线波长变化的所述薄膜层的实测反射度分布曲线；

比较步骤，分别比较多个积分反射度分布曲线和所述实测反射度分布曲线是否基本一致；及

确定步骤，选择与所述实测反射度分布曲线基本一致的积分反射度分布曲线，并将与所选积分反射度分布曲线对应的厚度确定为所述薄膜层厚度。

4.根据权利要求3所述的厚度检测方法，其特征在于，所述获得步骤包括：

第一强度设定步骤，向顶面未沉积有薄膜层的衬底层侧照射经过带通的光线，并在所述波长带中积分被所述衬底层反射的光线的强度分布曲线后，将其结果设定为第一强度；

第二强度设定步骤，向所述薄膜层照射经过带通的光线，并在所述波长带中积分被所述薄膜层反射的光线的强度分布曲线后，将其结果设定为第二强度；

实测反射度设定步骤，将所述第二强度除以所述第一强度的值设定为所述薄膜层对所述特定波长的实测反射度；及

实测反射度分布曲线生成步骤，边改变所述特定波长，边重复执行所述第一强度设定步骤、所述第二强度设定步骤及所述实测反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的所述实测反射度分布的实测反射度分布曲线。

5.一种厚度检测反射仪，其特征在于，包括：

光源，用于射出白色光；

线性可变滤波器，针对特定波长带通所射入的白色光，使得以所述特定波长为中心的规定波长带的光线通过，所述线性可变滤波器在其长度方向上变更可通过的特定波长；

滤波器移送单元，在所述线性可变滤波器的长度方向上往复移送所述线性可变滤波器；

光学系，向薄膜层照射通过所述线性可变滤波器的光线，并接收被所述薄膜层或衬底层反射的光线，所述衬底层用于支承所述薄膜层；及

摄像单元，接收被所述薄膜层或衬底层反射后射入及通过所述光学系的反射光，并将此反射光成像为图像。

6.根据权利要求5所述的厚度检测反射仪，其特征在于，所述摄像单元包括面阵摄像机，所述面阵摄像机用于同时摄像所述薄膜层或所述衬底层的规定面积。

7.根据权利要求5所述的厚度检测反射仪，其特征在于，进一步包括聚光镜，所述聚光镜配置在所述光源和所述线性可变滤波器之间，用于汇聚从所述光源发射的光线后向所述线性可变滤波器投射。