[发明专利]用于干涉式调制器的低电压驱动器方案

说明书

技术领域

本发明涉及用于驱动例如干涉式调制器的机电装置的方法及装置。

背景技术

机电系统包括具有电及机械元件、致动器、变换器、传感器、光学组件(例如，镜) 及电子装置的装置。可按包括(但不限于)微尺度及纳米尺度的各种各样的尺度来制造 机电系统。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包括大小在约一微米到数百微米或 更大的范围内的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包括大小小于一微米(包括(例 如)大小小于数百纳米)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻及/或蚀刻掉衬底及/或沉积 材料层的部分或添加层以形成电及机电装置的其它微机械加工工艺来创造机电元件。在 以下描述中，术语MEMS装置被用作指代机电装置的一般术语，且并不既定指代任一 特定尺度的机电装置，除非另有具体指出。

一种类型的机电系统装置被称为干涉式调制器。如在本文中所使用，术语干涉式调 制器或干涉式光调制器指代使用光学干涉的原理选择性地吸收及/或反射光的装置。在某 些实施例中，干涉式调制器可包含一对传导板，所述对传导板中的一者或两者可为整体 或部分透明及/或反射性的，且能够在施加适当电信号时相对运动。在一特定实施例中， 一个板可包含沉积于衬底上的固定层，且另一板可包含通过一气隙与所述固定层分开的 金属膜。如本文中较详细地描述，一个板相对于另一板的位置可改变入射于干涉式调制 器上的光的光学干涉。这些装置具有广泛的应用范围，且在此项技术中利用及/或修改这 些类型的装置的特性以使得其特征可用在改进现有产品及创造尚未开发的新产品的过 程中将是有益的。

发明内容

在一个方面中，提供一种驱动机电装置阵列的方法，所述方法包括对所述阵列内的 机电装置执行致动操作，其中对所述机电装置执行的每一致动操作包括：在所述机电装 置上施加释放电压，其中所述释放电压保持处于所述机电装置的正释放电压与所述机电 装置的负释放电压之间；及在所述机电装置上施加寻址电压，其中所述寻址电压大于所 述机电装置的正致动电压或小于所述机电装置的负致动电压。

在另一方面中，提供一种包括多个机电显示元件的显示器，所述显示器包括机电显 示元件阵列及经配置以对所述阵列内的机电装置执行致动操作的驱动器电路，其中对所 述机电装置执行的每一致动操作包括：在所述机电装置上施加释放电压，其中所述释放 电压保持处于所述机电装置的正释放电压与所述机电装置的负释放电压之间；及在所述 机电装置上施加寻址电压，其中所述寻址电压大于所述机电装置的正致动电压或小于所 述机电装置的负致动电压。

在另一方面中，提供一种驱动机电装置阵列中的机电装置的方法，所述机电装置包 括与区段线电气连通的第一电极，所述第一电极与和共同线电气连通的第二电极间隔 开，所述方法包括：在所述区段线上施加区段电压，其中所述区段电压在最大电压与最 小电压之间变化，且其中所述最大电压与所述最小电压之间的差小于所述机电装置的滞 后窗的宽度；在所述共同线上施加复位电压，其中所述复位电压经配置以将所述机电装 置置于未致动状态下；及在所述共同线上施加过驱动电压，其中所述过驱动电压经配置 以基于所述区段电压的状态而使所述机电装置致动。

在另一方面中，提供一种驱动机电装置阵列的方法，所述阵列包括多个共同线及多 个区段线，每一机电装置包括与共同线电气连通的第一电极，所述第一电极与和区段线 电气连通的第二电极间隔开，所述方法包括：在所述多个区段线中的每一者上施加区段 电压，其中施加于给定区段线上的所述区段电压可在高区段电压状态与低区段电压状态 之间切换；及同时在第一共同线上施加释放电压及在第二共同线上施加寻址电压，其中 所述释放电压引起沿着所述第一共同线的所有致动的机电装置的释放而与施加到每一 机电装置的区段电压的所述状态无关，且其中所述寻址电压视施加到给定机电装置的所 述区段电压的所述状态而定引起机电装置的致动。