[发明专利]背面入射型固体摄像元件有效
| 申请号： | 201080014116.0 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102365743A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 铃木久则;米田康人;村松雅治;山本晃永 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背面 入射 固体 摄像 元件 | ||
1.一种背面入射型固体摄像元件，其特征在于，
具备：
在背面侧具有光入射面的半导体基板；以及
设置于所述半导体基板的与所述光入射面为相反侧的光检测面的 多个电荷传送电极，
在所述电荷传送电极的邻接的彼此之间，形成光透过用的多个开 口部。
2.如权利要求1所述的背面入射型固体摄像元件，其特征在于，
所述开口部沿电荷传送方向排列配置。
3.如权利要求1所述的背面入射型固体摄像元件，其特征在于，
所述开口部沿电荷传送方向交错状地配置。
4.如权利要求1所述的背面入射型固体摄像元件，其特征在于，
p为0以上的整数，
第p+1行的所述电荷传送电极具有第1形状，
第p+2行的所述电荷传送电极具有第2形状，
第p+3行的所述电荷传送电极具有第3形状，
第p+4行的所述电荷传送电极具有第4形状，
所述第1至第4形状彼此完全不同，
第p+1行与第p+2行的所述电荷传送电极之间形成第1图形的所 述开口部，
第p+3行与第p+4行的所述电荷传送电极之间形成第2图形的所 述开口部，
所述第1及第2图形彼此不同。
5.一种背面入射型固体摄像元件，其特征在于，
具备：
在背面侧具有光入射面的半导体基板；以及
设置于所述半导体基板的与所述光入射面为相反侧的光检测面的 多个电荷传送电极，
在各电荷传送电极内形成光透过用的多个开口部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
