[发明专利]一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器

权利要求书

1.一种用于检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其是借助微机电传感器（1）检测互相垂直的空间三轴X，Y和Z方向中的两个方向，其包括：

至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5）移动安装在基板（2）上，并且至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动；

当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器（1）的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离；

该加速度频率和旋转速度频率是不同的。

2.如前面权利要求所述的方法，其特征在于：检测第三方向的加速度和第三方向的旋转速度，至少要提供一种附加的驱动模块（6；6.1，6.2），该驱动模块以一个驱动频率作振动式移动，该移动方向垂直于第一或第二方向上的至少一个驱动模块或者旋转速度的方向，相应地还需要至少一个感应模块（5）。

3.如前面权利要求任意一项所述的方法，其特征在于：当传感器（1）的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5） 以一个加速度频率偏离，该加速度频率等于驱动频率，并且当传感器（1）的外部旋转速度产生时，以旋转速度频率偏离，该旋转速度频率是驱动频率的两倍。

4.如前面权利要求任意一项所述的方法，其特征在于：驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）偏离是由于传感器（1）加速时所产生的扭矩。

5.如前面权利要求任意一项所述的方法，其特征在于：驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）偏离是由于传感器（1）旋转时所产生的扭矩和科里奥利力。

6.如前面权利要求任意一项所述的方法，其特征在于：被检测的加速度频率和旋转速度频率与产生的加速度和旋转速度成比例。

7.一种微机电传感器，其用于检测加速度和旋转速度，至少一个，尤其是检测互相垂直的空间三轴X，Y和Z方向中的两个方向，其包括：

一个基板（2），

至少一个驱动模块（6；6.1，6.2），其移动地安装在基板上且沿着平行于位于XY轴平面的基板（2）平面方向振动，

至少一个感应模块（5），

一个连接弹性件（7），其将至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）连接到至少一个感应模块（5），及至少一个固定部（3）和一个固定弹性件（4），该固定弹性件将至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和/或至少一个感应模块（5）连接到基板上，

驱动元件，其用来驱使驱动模块（6；6.1，6.2）且以一个驱动频率相对于至少一个感应模块（5）振动，当基板（2）围绕任意空间轴旋转时，驱动元件被作用于科里奥利力，

感应元件，其用来检测基板（2）的加速度和旋转运动，

其特征在于：在静止状态时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）被安装在基板（2）上，且通过至少一个固定部（3）平衡在基板上，并且在驱动模式下，驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个固定部（3）振动时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）相对于至少一个固定部（3）产生不平衡，

感应元件检测出驱动模块和感应模块以一个加速度频率和/或一个旋转速度频率偏离，这是由于产生的扭矩和科里奥利力。

8.如前面权利要求所述的微机电传感器，其特征在于：至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）沿着一个轴振动。

9.如前面权利要求任意一项所述的微机电传感器，其特征在于：提供至少一个附加的驱动模块（6；6.1，6.2），其用来检测第三方向加速度和第三方向旋转速度，该附加的驱动模块（6；6.1，6.2）被驱动元件驱动且垂直于第一和第二二方向的至少一个驱动模块或者旋转速度的方向振动，相应地还需要至少一个感应模块（5）。

10.如前面权利要求任意一项所述的微机电传感器，其特征在于：至少一个固定部（3）为一个中心固定部。

11.如前面权利要求任意一项所述的微机电传感器，其特征在于：至少一个感应模块（5）被安装在中心固定部（3）上。