[发明专利]超声波马达装置

说明书

技术领域

本发明涉及超声波马达装置。

背景技术

作为以往的超声波马达装置，可以举出例如专利文献1中记载的X-Y载物台(stage)。该X-Y载物台具有固定载物台和使该固定载物台往复直线移动的移动载物台，在上述固定载物台或上述移动载物台的一个上，将具备在上述移动载物台的移动方向上配置的至少两条以上的脚部、连结这些脚部的端部的躯干部、和使这些脚部和躯干部分别振动的振动源的超声波线性马达使上述脚部的前端压接在上述固定载物台或上述移动载物台的另一个上而设置。

此外，专利文献2中记载的载物台装置由呈平板状的底盘、第一载物台及第二载物台构成，上述第一载物台配置在上述底盘上并受第一超声波马达驱动，上述第二载物台配置在上述第一载物台上并受第二超声波马达驱动，由V形槽、导轨等构成交叉辊引导部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第2506170号说明书

专利文献2：日本特开2000-58629号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在专利文献1所记载的X-Y载物台中，存在推压机构、轴承机构的构造较复杂而难以小型化的问题。

此外，专利文献2所记载的载物台装置是将第一载物台和第二载物台叠放的构造，即使在载物台内部中安装超声波马达，结构也变得复杂，存在难以小型化且组装也较难的问题。

本发明是鉴于上述而做出的，目的是提供一种小型化较容易且组装性较高的超声波马达装置。

为了解决上述问题，达到发明目的，本发明的超声波马达装置的特征在于，具备：第一超声波马达单元及第二超声波马达单元，分别具有通过高频电压的施加而周期性振动的振动部件、收纳振动部件的壳体、与振动部件接触的移动部件、以及使移动部件与振动部件相互加压接触而产生推压力的施力部件；基座部件，固定有第一超声波马达单元的壳体；第一框，固定在第一超声波马达单元的移动部件上，并且固定有第二超声波马达单元的壳体；第二框，固定在第二超声波马达单元的移动部件上。

本发明的超声波马达装置优选的是，一对第一超声波马达单元对置地配置在基座部件上。

本发明的超声波马达装置优选的是，一对第二超声波马达单元对置地配置在第一框上。

本发明的超声波马达装置优选的是，具备1个第一超声波马达单元。

本发明的超声波马达装置优选的是，具备1个第二超声波马达单元。

发明的效果

本发明的超声波马达装置具有小型化较容易、能够实现较高的组装性的效果。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的超声波马达装置的结构的立体图。

图2是表示本发明的第一实施方式的超声波马达装置的结构的分解立体图。

图3是用来说明本发明的第一实施方式的X板的动作的分解立体图。

图4是用来说明本发明的第一实施方式的Y板的动作的分解立体图。

图5是表示本发明的第一实施方式的超声波马达单元的结构例的分解立体图。

图6是表示本发明的第一实施方式的超声波马达单元的结构例的立体图。

图7是表示本发明的第二实施方式的超声波马达装置的结构的立体图。

图8是表示本发明的第二实施方式的超声波马达装置的结构的分解立体图。

图9是表示本发明的第二实施方式的轴承部件的结构的分解立体图。

具体实施方式

以下，基于附图详细地说明本发明的超声波马达装置的实施方式。另外，并不由以下的实施方式限定该发明。

首先，参照图1至图6对第一实施方式的超声波马达装置进行说明。图1是表示第一实施方式的超声波马达装置的结构的立体图。图2是表示第一实施方式的超声波马达装置的结构的分解立体图。

如图1、图2所示，第一实施方式的超声波马达装置100具备X轴驱动用的超声波马达单元111、112(第一超声波马达单元)、Y轴驱动用的超声波马达单元113、114(第二超声波马达单元)、板状的基座120、X板140(第一框)、和Y板130(第二框)。

超声波马达单元111、112成对地相互对置而固定在基座120的上表面的Y方向的两端部。具体而言，将超声波马达单元111的壳体部件(壳体)相对于基座120的安装部121、122螺接固定，将超声波马达单元112的壳体部件(壳体)相对于基座120的安装部123、124螺接固定。