[发明专利]超声波检查装置以及超声波检查方法

权利要求书

1.一种超声波检查装置，

对由排列成矩阵状或者一列且分别独立形成的多个压电变换部构成的超声波换能器的上述压电变换部进行驱动，

通过接收从被驱动的上述压电变换部发出的超声波的来自检查对象的反射回波，对多个上述压电变换部所产生的电信号进行孔径合成处理，从而合成上述检查对象的内部的三维图像，

其特征在于，

该超声波检查装置中设置有基于距离计测用超声波传感器的检测信号计算出上述超声波换能器离上述检测对象的表面的距离以及相对于上述检查对象的表面的倾斜的距离测定装置，该超声波检查装置构成为基于上述距离测定装置的计算结果，控制上述超声波换能器相对于上述检查对象的距离以及倾斜，并且，

在上述超声波换能器不进行超声波收发的上述孔径合成处理的执行中，进行上述距离计测用超声波传感器的超声波收发中的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，

在上述超声波换能器中设置有多个上述距离计测用超声波传感器，

并且，多个上述距离计测用超声波传感器中的至少一个是收发与上述超声波换能器不同频带的超声波的异频带的距离计测用超声波传感器，

在上述超声波换能器进行超声波收发时进行该异频带的距离计测用超声波传感器的超声波收发。

3.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，

使用上述超声波换能器两端部的压电变换部作为上述距离计测用超声波传感器，

在上述孔径合成处理的执行中，上述距离测定装置驱动上述超声波换能器，取得表示上述超声波换能器离上述检查对象的表面的距离以及相对于上述检查对象的表面的倾斜的检测信号，根据该取得的检测信号计算出上述距离以及上述倾斜。

4.一种超声波检查装置，

对由排列成矩阵状或者一列且分别独立形成的多个压电变换部构成的超声波换能器的上述压电变换部进行驱动，

通过接收从被驱动的上述压电变换部发出的超声波的来自检查对象的反射回波，对多个上述压电变换部所产生的电信号进行孔径合成处理，从而合成上述检查对象的内部的三维图像，

其特征在于，

该超声波检查装置具备根据上述超声波换能器的电信号计算出该超声波换能器离上述检查对象的表面的距离以及相对于上述检查对象的表面的倾斜的距离测定装置，该超声波检查装置基于上述距离测定装置的计算结果，控制上述超声波换能器相对于上述检查对象的距离以及倾斜。

5.根据权利要求4所述的超声波检查装置，其特征在于，

在上述超声波换能器进行检查用的超声波收发时，上述距离测定装置利用该超声波换能器的电信号进行上述距离以及上述倾斜的计算，

在上述超声波换能器不进行检查用的超声波收发时，上述距离测定装置驱动上述超声波换能器来取得电信号，根据该取得的电信号计算出上述距离以及上述倾斜。

6.一种超声波检查方法，对由排列成矩阵状或者一列且分别独立形成的多个压电变换部构成的超声波换能器的上述压电变换部进行驱动，

通过接收从被驱动的上述压电变换部发出的超声波的来自检查对象的反射回波，对多个上述压电变换部所产生的电信号进行孔径合成处理，从而合成上述检查对象的内部的三维图像，

其特征在于，

设置基于距离计测用超声波传感器的检测信号计算出上述超声波换能器离上述检测对象的表面的距离以及相对于上述检查对象的表面的倾斜的距离测定装置，该超声波检查方法基于上述距离测定装置的计算结果，控制上述超声波换能器相对于上述检查对象的距离以及倾斜，并且，

在上述超声波换能器不进行超声波收发的上述孔径合成处理的执行中，进行上述距离计测用超声波传感器的超声波收发中的至少一部分。

7.一种超声波检查方法，对由排列成矩阵状或者一列且分别独立形成的多个压电变换部构成的超声波换能器的上述压电变换部进行驱动，

通过接收从被驱动的上述压电变换部发出的超声波的来自检查对象的反射回波，对多个上述压电变换部所产生的电信号进行孔径合成处理，从而合成上述检查对象的内部的三维图像，

其特征在于，

根据上述超声波换能器的电信号，计算出该超声波换能器离上述检查对象的表面的距离以及相对于上述检查对象面的倾斜，基于该计算结果来控制上述超声波换能器相对于上述检查对象的距离以及倾斜。