[发明专利]多频调整的处理方法

权利要求书

1.操作具有接收气体的空间、电极部分和RF驱动器的处理系统的方法，所述RF驱动器可操作地提供驱动信号到所述电极部分，所述方法包括：

提供气体进入所述空间；

提供所述驱动信号到所述电极部分，所述驱动信号以第一信号部分和第二信号部分为基础；和

在所述空间从所述气体产生等离子体，

其中所述等离子体有等离子体鞘，

其中所述等离子体鞘有等离子体鞘电势，

其中所述等离子体鞘电势以所述驱动信号为基础，

其中作为时间的函数的等离子体鞘电势以第一等离子体鞘电势函数部分和第二等离子体鞘电势函数部分为基础，

其中所述第一等离子体鞘电势函数部分包括具有第一幅度和第一频率的连续正弦部分，

其中所述第二等离子体鞘电势函数部分包括具有最大幅度间隔、最小幅度间隔和占空比的正弦部分，

其中所述最大幅度间隔有第二频率、第一持续时间和第一间隔幅度，

其中所述最小幅度间隔有第二持续时间和第二间隔幅度，

其中所述第一间隔幅度大于所述第二间隔幅度，

其中所述占空比是所述第一持续时间同所述第一持续时间和所述第二持续时间总和之比，且

其中所述第二等离子体鞘电势函数部分以等于所述第一频率谐波的频率调整幅度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述第一幅度大于所述第二幅度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述第一持续时间小于或等于所述第二持续时间。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述最大幅度间隔与最大等离子体鞘电势同步。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述最大幅度间隔与最大等离子体鞘电势同步。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述第一持续时间小于或等于所述第二持续时间。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述最大幅度间隔与最大等离子体鞘电势同步。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述最大幅度间隔与最大等离子体鞘电势同步。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述谐波为1。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述谐波大于1。

11.操作具有其中设有接收气体的空间和在所述空间中可操作地产生电磁场的电磁场产生部分的处理系统的方法，所述方法包括：

提供气体进入所述空间；和

用驱动电势操作所述电磁场产生部分以在所述空间产生电磁场从而将所述气体的至少一部分转变为等离子体，

其中作为时间的函数的所述驱动电势以第一电势函数部分和第二电势函数部分为基础，

其中所述第一电势函数部分包括具有第一幅度和第一频率的第一连续正弦部分，

其中所述第二电势函数部分包括具有最大幅度间隔、最小幅度间隔和占空比的第二正弦部分，

其中所述第二正弦部分在所述最大幅度间隔中比在所述最小幅度间隔中有更高的幅度，

其中所述占空比是所述最大幅度间隔同所述最大幅度间隔和所述最小幅度间隔的总和之比，

其中所述第二正弦部分还有第二频率，

其中所述第二正弦部分以等于所述第一频率的谐波的频率调整幅度。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述第一幅度大于所述第二幅度。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述提供所述驱动信号到所述电极包括提供所述驱动信号到所述电极使得所述第一持续时间小于或等于所述第二持续时间。