[发明专利]固体摄像元件及其制造方法、放射线摄像装置及其制造方法、以及固体摄像元件的检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种固体摄像元件及其制造方法、放射线摄像装置及其制造方法、以及固体摄像元件的检查方法。

背景技术

作为固体摄像元件已知有利用CMOS技术的固体摄像元件，其中已知有无源像素传感器(PPS：Passive Pixel Sensor)方式的固体摄像元件。PPS方式的固体摄像元件具备包含产生与入射光强度对应量的电荷的光电二极管的PPS型像素二维排列成M行N列的受光部，该固体摄像元件存储各像素中根据光入射由光电二极管产生的电荷，将与存储电荷量对应的电压值作为像素数据输出。

一般地，各列的M个像素通过与该列对应设置的读取用配线而分别与积分电路连接。并且，从积分电路输出的电压值暂时被保持，且由移位寄存器一边控制一边依次被输出。

这种PPS方式的固体摄像元件用于各种用途中，例如，与闪烁器部组合，作为X射线平板还用于医疗用途或工业用途中，进一步具体而言，还利用于X射线CT装置以及微焦X射线检查装置等。

当制造PPS方式的固体摄像元件时，一般通过将检查用探针触碰端子电极来确认受光部或积分电路、移位寄存器等的动作。例如，专利文献1中记载有在进行固体摄像装置的检查时为了使探针高精确度地触碰焊盘(端子电极)而改良焊盘的形状的方法。另外，专利文献2中记载有当多个MOS型固体摄像元件形成于1片半导体晶圆上时，通过探针检查来辨别各元件是否良好的方法。

另外，专利文献3中公开有，在CMOS图像传感器中，以像素单位向各像素的光电二极管注入电荷，从而无需照射光而确认功能的技术。

专利文献1：日本专利公开2003-319270号公报

专利文献2：日本专利公开2001-8237号公报

专利文献3：日本专利公开2006-128244号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在X射线CT装置等用途中使用固体摄像元件时，例如有时需要12cm四方之类的大面积的受光部。在这种情况下，为了制作大面积的受光部或与其对应的积分电路等，将半导体晶圆上的区域分割成多个区域，并按各区域利用对应的掩模形成半导体结构。例如，具有积分电路或移位寄存器的多个电路部分(以下，称为信号输出部)对应于受光部的列数N被分割成多列而成的多个列组而配设。这些多个电路部分形成为具有相同结构。因此，用于输入积分电路的复位信号或移位寄存器的时钟信号的多个端子电极、用于取出输出信号的多个端子电极分别与各列组对应而配设。

在这种固体摄像元件中进行受光部或积分电路等的检查时，如专利文献1、2所示那样在将探针触碰各端子电极的方法中，需要使多个探针同时与端子电极接触。但是，很难均匀地对齐多个探针的前端位置，在这种方法中容易产生探针与端子电极的接触不良等，因此难以准确地进行检查。

本发明的目的在于，能够在大面积的固体摄像元件及其制造方法、具备其的放射线摄像装置及其制造方法、以及大面积的固体摄像元件的检查方法中，实现受光部或积分电路等的更加准确且容易的检查。

解决问题的技术手段

本发明的一个实施方式所涉及的固体摄像元件具备：受光部，各自包含光电二极管的M×N个(M＜N，M和N为2以上的整数)像素二维排列成M行N列而形成；多个信号输出部，分别与各自包含2个以上的列且N列被分割而成的多个列组对应地设置；及垂直移位寄存器，按各行控制来自像素的电荷输出。即，受光部具有M×N个像素。M×N个像素设置成M行N列的排列状。受光部包括多个列组。多个列组包括互不相同的2个以上的像素列。多个信号输出部分别具有2个以上的积分电路、2个以上的保持电路、水平移位寄存器、输入端子电极组及输出端子电极。2个以上的积分电路分别与对应列组中所含的2个以上的列对应而设置，存储从对应列中所含的像素输出的电荷并转换为电压信号。2个以上的保持电路连接于2个以上的积分电路各自的输出端。水平移位寄存器从2个以上的保持电路依次输出电压信号。输入端子电极组包含多个端子电极。多个端子电极是用于分别输入进行积分电路的复位的复位信号、控制向保持电路输入电压信号的保持信号、开始水平移位寄存器的动作的水平起始信号、规定水平移位寄存器的时钟的水平时钟信号、开始垂直移位寄存器的动作的垂直起始信号及规定垂直移位寄存器的时钟的垂直时钟信号的电极。输出端子电极是提供来自保持电路的输出信号的电极。