[发明专利]对含有至少一种易氧化有色金属的工件和/或材料进行涂层的方法

权利要求书

1.一种对工件和/或材料进行涂层的方法，该工件和/或材料包含：至少一种易氧化有色金属，或含有至少一种易氧化有色金属的合金，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

b) 通过等离子还原法对该工件和/或材料进行预处理；

c) 在等离子涂敷室内通过等离子喷涂来形成覆盖层；

在步骤b)中对反应气体的供给进行周期性地调节。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述易氧化有色金属或其合金为镁或镁合金。

3.根据前述任一项权利要求所述的方法，其特征在于，步骤b)中的反应气体至少包括氢。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤b)之前或与步骤b)同步进行的为步骤a2): 通过溅射来活化所述工件和/或材料。

5.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在步骤b)之前具有至少一个步骤a1): 使用至少一个研磨过程来处理所述工件和/或材料的表面。

6.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述易氧化有色金属为至少一种选自以下各项的金属：锡，锌，钛，铝，铍和/或镁。

7.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述覆盖层选自以下层：

含碳层，

含硅层，

含钛层，

含钨层，

含碳化钨层，

含钒层，和/或

含铜层。

8.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在设于等离子涂敷室上游的供气系统内对用于反应气体的固态或液态前驱体进行加热，涂敷室使该前驱体在真空下成为蒸气相，并随后通过供气装置送入等离子涂敷室内。

9.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在步骤b)和步骤c)之间进行步骤b1): 通过等离子喷涂形成粘结层。

10. 根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，该粘结层包含元素周期表第VI 和VII副族的元素。

11.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在步骤 a.2)、从步骤a.2) 至步骤 b)的过渡、从步骤b) 至步骤 b.1) 或步骤 c)的过渡、从步骤 b.1) 至步骤 c)的过渡中，至少两种不同气体的供气以相反方向的坡道进行。

12.根据前面任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在步骤b1)和步骤c)之间的过渡过程中，对特定反应气体的供气进行至少短暂地、相反地调节。

13.根据前面任一项权利要求所述的方法，其中，该方法在等离子涂敷室内进行，该等离子涂敷室具有用于产生交变电磁场的扁平高频电极，以及位于涂敷室外部的频率发生器，其特征在于：所述高频电极具有至少两条供气线，由所述频率发生器产生的交变电压通过所述供气线提供给所述高频电极。

14.等离子涂敷室的用途，其中所述等离子涂敷室具有用于产生交变电磁场的扁平的高频电极，位于涂敷室外部的频率发生器，以及至少两条供气线，由所述频率发生器产生的交变电压通过所述供气线提供给所述高频电极，所述用途为：所述等离子涂敷室用于根据前述任一项权利要求的方法来对工件和/或材料进行涂层。

15.包含至少一种易氧化有色金属的工件和/或材料，其特征在于，所述工件和/或材料具有涂层，该涂层是用等离子喷涂方法形成的。

16.根据权利要求15所述的工件和/或材料，其特征在于，所述涂层具有至少一种选自以下各项的成分：碳、特别是类金刚石碳(DLC)，硅，钛，钨，碳化钨，钒，和/或铜。

17.根据权利要求15或16所述的工件和/或材料，其特征在于，所述工件和/或所述材料可通过权利要求1-13中任一项所述的方法来制造。