[发明专利]混合金属氧化物

权利要求书

1.一种混合金属氧化物，其特征在于，其化学式为：

SrM_1-xTi_xO₃，

其中x为0＜x＜1；以及

M为Hf或Zr。

2.如权利要求1所述的氧化物，其特征在于，0.01＜x＜0.99。

3.如权利要求1或2所述的氧化物，其特征在于，该锶-铪-钛氧化物表现出大于35的介电常数。

4.如前述任一项权利要求所述的氧化物，其特征在于，其表现出3.10eV或更多的带隙。

5.如前述任一项权利要求所述的氧化物，其特征在于，其实质为单相的。

6.如前述任一项权利要求所述的氧化物，其特征在于，M为Hf。

7.一种复合物，其特征在于，包括：如前述任一项权利要求所定义的一种混合金属氧化物，以及锶、M和钛其中之一或更多的氧化物中的一种或更多种。

8.一种功能器件，其特征在于，包括：

一衬底；以及

制作在该衬底上的一元件，其中，该元件由如前述任一项权利要求所定义的一种混合金属氧化物或其复合物组成。

9.如权利要求8所述的功能器件，其特征在于，其为一种电气、电子、磁力、机械、光学或热器件。

10.如权利要求8或9所述的功能器件，其特征在于，该衬底为硅。

11.如权利要求8-10中任一项所述的功能器件，其特征在于，其为场效应晶体管器件，其中该衬底为衬底层，而该元件为制作在该衬底层上的栅极电介质，其中该场效应晶体管进一步包括：

该栅极电介质上的一栅极。

12.如权利要求11所述的功能器件，其特征在于，其为MOSFET器件。

13.如权利要求1-7任一项所定义的一种混合金属氧化物或其复合物的用途，其特征在于，作为电介质用作或用于电气、电子、磁力、机械、光学或热器件。

14.一种制备如权利要求8-12任一项所定义的功能器件的方法，其特征在于，包括：

在封闭环境中，在连续的暴露步骤中将离散的经挥发的相当数量的一锶前体、一铪或锆前体以及一钛前体暴露至该衬底。