[发明专利]电子显微镜中的光学探测

权利要求书

1.一个电子显微镜样品基座(601)包括：

一个指定成像区域(205)，被设置成将样品(203)放置在电子显微镜的一个电子光束中进行结构特性分析；和

一个光源(703，801，901，105，107，113，117)，被设置成将光引导至样品(203)上进行光学特性分析，其中结构特性分析和光学特性分析同时进行。

2.根据权利要求1的基座，基座进一步包括一个探头(201，801，901)，探头被设置成与样品(203)互相作用从而同时进行结构的和/或机械的特性分析。

3.根据权利要求1的基座，其中光源(701，705，117)是一个光学纤维。

4.根据权利要求1的基座，基座进一步包括一个操控装置(207)被设置成调整光源(801，901，105，107)的位置。

5.根据权利要求1的基座，基座进一步包括一个光输入装置(701，801，901，101，103，201)，光输入装置被设置成接收与样品(203)互相作用的光。

6.根据权利要求1的基座进一步包括一个第二光源(105，107)。

7.根据权利要求1的基座，其中光源是逆向的(113)。

8.一个系统(600)用来对一个电子显微镜中的样品(203)的材料特性进行特性分析，包括：

根据权利要求1中一个样品基座(601)的布置；

一个控制装置(608)用来控制样品基座(601)和从样品基座(601)获取测量信号；

一个光源(603)被设置成将光引导至样品基座(601)；

一个光探测器(605)从样品基座(601)接收光；和

一个与控制装置相连的计算装置(607)，被设置成分析来自样品基座(601)的信号和进一步被设置成向控制装置提供指令。

9.一种对样品(203)进行材料特性的特性分析的方法，包括：

将样品(203)放置在一个电子显微镜中；

传播光线到样品(203)上；

通过与样品(203)的干扰探测光；和

同时用电子显微镜获取影像。

10.根据权利要求9的方法，进一步包括将一个探头(201，801，901)与样品(203)互相作用和获取一个互相作用测量。

11.根据权利要求10的方法，进一步包括及时将探测到的光与所获取的图像和互相作用测量互相之间联系起来。

12.一个电子显微镜样品基座(601)包括：

一个指定成像区域(205)，被设置成将样品(203)放置在电子显微镜的一个电子光束中进行结构特性分析；

一个探头(201，801，901)，被设置成与样品(203)互相作用进行机械特性分析；和

一个光源(703，801，901，105，107，113，117)，被设置成将光引导至样品(203)上进行光学特性分析，其中结构、机械和光学特性分析同时进行。