[发明专利]等离子表面处理装置及方法

权利要求书

1.一种等离子表面处理装置，利用等离子处理导电性对象物的被处理部表面，其特征在于，包括：

连接装置，与所述对象物的被处理部电连接以便对所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压；

脉冲电压发生装置，与所述连接装置电连接；以及

磁芯(magnetic core)，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，阻断因施加到所述对象物的被处理部的负的脉冲电压而流经所述对象物的被处理部的电流脱出所述对象物的被处理部的边界流动。

2.根据权利要求1所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

进一步包括用于容纳所述对象物的真空腔。

3.根据权利要求1或2所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

所述对象物连续供给，

所述连接装置为与所述对象物的被处理部电连接的集电装置，以对连续供给的所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压。

4.根据权利要求3所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

所述集电装置为外周面与对象物接触且可旋转地设置的集电用辊。

5.根据权利要求3所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

所述真空腔进一步包括：

供给所述对象物的入口；

已被等离子表面处理的所述对象物排出的出口；以及

一对真空维持单元，分别设置在所述入口和出口，以维持所述真空腔的真空的同时将所述对象物向所述真空腔内供给并从真空腔排出。

6.根据权利要求1或2所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

所述磁芯呈离所述对象物的表面有一定间距并围绕该对象物的闭环形，以便连续供给的所述对象物能够通过并继续进行。

7.根据权利要求3所述的等离子表面处理装置，其特征在于，进一步包括：

放卷机，设置在所述真空腔入口的上游侧，以连续供给所述对象物；以及

卷绕机，设置在所述真空腔出口的下游侧，以连续收卷被连续表面处理的所述对象物。

8.一种等离子表面处理方法，在包括：供给工艺气体的步骤；在导电性对象物的周围形成等离子体离子的步骤；以及将所述等离子体离子加速而对所述导电性对象物的被处理部进行冲撞的步骤的导电性对象物的表面处理方法中，其特征在于，包括：

在所述对象物的被处理部的边界周围配置磁芯的步骤，以阻断流经所述对象物的被处理部的电流脱出对象物的被处理部的边界流动；以及

为了加速所述等离子体离子而在所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压的步骤。

9.根据权利要求7所述的等离子表面处理方法，其特征在于，进一步包括：

将所述对象物的被处理部周围的压力维持在大气压以下的步骤。

10.根据权利要求8所述的等离子表面处理方法，其特征在于，进一步包括：

连续供给所述对象物的步骤。

11.一种等离子表面处理装置，利用等离子处理导电性对象物的被处理部表面，其特征在于，包括：

至少一对变压器磁芯，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，以在所述对象物的被处理部感应负的脉冲电压；

一次线圈，卷绕在各所述变压器磁芯；以及

脉冲电压发生装置，与所述各一次线圈电连接。

12.一种等离子表面处理装置，利用等离子处理导电性对象物的被处理部表面，其特征在于，包括：

变压器磁芯，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，以对所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压；

一次线圈，卷绕在所述变压器磁芯；

脉冲电压发生装置，与所述一次线圈电连接；以及

磁芯(magnetic core)，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，阻断因在所述对象物的被处理部感应的负的脉冲电压而流经所述对象物的被处理部的电流脱出所述对象物的被处理部的边界流动。

13.根据权利要求11或12所述的等离子表面处理装置，其特征在于，

进一步包括用于容纳所述对象物的真空腔。