[发明专利]超声波探头以及超声波摄像装置

权利要求书

1.一种超声波探头，其特征在于，具有静电容型微机械超声波换能器，所述静电容型微机械超声波换能器具有：

具备第1电极的基板；和

具备第2电极的振动膜，

所述振动膜的周缘部通过从所述基板立起的支撑壁固定于所述基板上，并在所述基板和所述振动膜之间形成有空隙层，

在所述基板内进行传播的横波音速在该超声波探头的灵敏度带域内的至少一部分的频带中，为与所述基板或所述振动膜接触的媒介物的纵波音速以上。

2.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的相对于与所述基板或所述振动膜接触的媒介物的相干频率存在于所述灵敏度带域内。

3.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的相对于与所述基板或所述振动膜接触的媒介物的相干频率为所述灵敏度带域的高频截止频率以下。

4.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的相对于与所述基板或所述振动膜接触的媒介物的相干频率为所述灵敏度带域的低频截止频率的1/10以上。

5.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

在所述超声波换能器的声放射面具备声透镜。

6.根据权利要求5所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的厚度为3.8μm以上且70μm以下。

7.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

在使用时，使所述超声波换能器的声放射面接触水或生物体。

8.根据权利要求7所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的厚度为12μm以上且170μm以下。

9.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述超声波换能器在基板侧具备衬垫材料。

10.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

使所述超声波换能器的声放射面接触声透镜、水或生物体，并在基板侧具备衬垫材料。

11.根据权利要求9或10所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的厚度为12μm以上且440μm以下。

12.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

通过粘接剂将衬垫材料粘接于所述超声波换能器的基板侧。

13.根据权利要求12所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的厚度为15μm以上300μm以下。

14.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

在所述超声波换能器的基板侧具备电子电路。

15.根据权利要求14所述的超声波探头，其特征在于，

所述基板的厚度为15μm以上且300μm以下。