[发明专利]光刻投影设备和器件制造方法有效
申请号: | 201080017184.2 | 申请日: | 2010-01-28 |
公开(公告)号: | CN102405560A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | J·戴门;J·范杜凡波第;H·范豪特 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01R13/03 | 分类号: | H01R13/03 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴敬莲 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 投影设备 器件 制造 方法 | ||
1.一种电连接器,包括:
(a)壳体,具有导电表面;和
(b)多个电缆插入部分,每一个电缆插入部分包括:
(i)导电体,配置用以连接至电缆;和
(ii)绝缘套管,围绕所述导电体;
其中所述壳体围绕所述多个电缆插入部分。
2.根据权利要求1所述的电连接器,其中绝缘套管的内表面之间的最大间距d小于大约80mm。
3.根据权利要求2所述的电连接器,其中绝缘套管的内表面之间的最大间距d小于大约30mm。
4.根据权利要求2或3所述的电连接器,其中绝缘套管中的每一个的内表面和壳体之间的最大间距d小于大约80mm。
5.根据权利要求4所述的电连接器,其中绝缘套管中的每一个的内表面和壳体之间的最大间距d小于大约30mm。
6.根据权利要求1所述的电连接器,其中电连接器的内部与所述电连接器的外部流体连通。
7.根据权利要求1所述的电连接器,其中绝缘套管之间的每一个区域仅由电绝缘材料占据。
8.根据权利要求1所述的电连接器,其中电连接器是阳连接器。
9.根据权利要求1所述的电连接器,其中电连接器是阴连接器。
10.根据权利要求1所述的电连接器,其中壳体具有配置成连接地电势的连接器。
11.根据权利要求1所述的电连接器,其中每一个电缆插入部分包括绝缘盖帽,所述盖帽配置成包围绝缘套管的端部。
12.根据权利要求1所述的电连接器,其中所述多个电缆插入部分包括三个电缆插入部分。
13.根据权利要求1所述的电连接器,其中绝缘套管包括聚四氟乙烯。
14.根据权利要求1所述的电连接器,其中绝缘套管包括液晶聚合物。
15.根据权利要求1所述的电连接器,其中绝缘套管包括聚醚醚酮。
16.一种电连接系统,包括:
阳电连接器,所述阳电连接器具有
(a)第一壳体,具有导电表面;和
(b)第一多个电缆插入部分,每一个电缆插入部分包括:
(i)导电体,配置用以连接至电缆;和
(ii)绝缘套管,围绕所述导电体;
其中所述第一壳体围绕所述第一多个电缆插入部分;和
阴电连接器,具有:
(c)第二壳体,具有导电表面;和
(d)第二多个电缆插入部分,每一个电缆插入部分包括:
(i)导电体,配置用以连接至电缆;和
(ii)绝缘套管,围绕所述导电体;
其中所述第二壳体围绕所述第二多个电缆插入部分;
其中阳电连接器和阴电连接器相互连接。
17.一种电连接系统,包括:
(a)绝缘套管;和
(b)多个导电带,围绕所述绝缘套管;
其中在每一个导电带之间存在间隙使得在每一个间隙处绝缘套管是暴露的。
18.一种光刻设备,包括:
(a)衬底台,构造成保持衬底;
(b)致动器,配置成驱动衬底台;和
(c)根据权利要求1所述的电连接器,配置成将致动器连接至电源。
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