[发明专利]使用了干涉的膜厚计测装置及使用了干涉的膜厚计测方法

权利要求书

1.一种使用了干涉的膜厚计测装置，具备：

载置部，其对表面形成有透明膜的基板进行载置；

光源，其对载置于所述载置部的所述基板照射光；

半透半反镜，其对来自所述光源的所述光进行分支而使所述光向所述基板的表面及参照面照射，并使来自所述基板的所述表面及所述参照面的反射光重合而形成干涉光；

摄像装置，其拍摄所述干涉光；

运算装置，其基于所述摄像装置的拍摄结果而算出所述透明膜的膜厚，

所述运算装置具有：

预先对向所述透明膜的入射光与反射光之间的第一相位光谱的变化量进行数据库化而作成的光谱变化量数据库；

对所述摄像装置拍摄到的所述透明膜的干涉信号进行傅立叶变换而算出所述透明膜的第二相位光谱的第二相位光谱算出部；

从所述光谱变化量数据库中选择与所述第二相位光谱一致度最高的第一相位光谱，使用所选择出的所述第一相位光谱来计测所述透明膜的膜厚的膜厚算出部。

2.根据权利要求1所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

透射光的强度光谱具有多个峰值的光学滤波器设置在所述光源与所述半透半反镜之间。

3.根据权利要求2所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

所述光学滤波器是所述透射光的所述强度光谱具有三个峰值的滤波器。

4.根据权利要求3所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

所述光学滤波器的所述透射光的所述强度光谱的中心峰值的强度比两侧峰值的强度小。

5.根据权利要求4所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

所述光学滤波器的所述透射光的所述强度光谱的所述中心峰值的强度相对于所述两侧峰值的强度为大于80％且小于100％的强度。

6.根据权利要求5所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

所述光学滤波器的所述透射光的所述强度光谱的所述中心峰值的强度为所述两侧峰值的强度的93.4％的强度。

7.根据权利要求1所述的使用了干涉的膜厚计测装置，其中，

所述光源为白色光源。

8.一种使用了干涉的膜厚计测方法，其中，

预先对向表面形成有透明膜的基板的入射光与反射光之间的第一相位光谱的变化量进行数据库化而作成光谱变化量数据库，

对来自所述透明膜及参照面的光发生了干涉而成的干涉光的干涉信号进行傅立叶变换而算出所述透明膜的第二相位光谱，

从所述光谱变化量数据库中选择与所述第二相位光谱一致度最高的第一相位光谱，使用所选择出的所述第一相位光谱来计测所述透明膜的膜厚。