[发明专利]高功率、高能量且大面积的能量存储器件

权利要求书

1.一种制造能量存储器件的方法，所述能量存储器件包括集成在基板上的多个电池，所述多个电池串联电连接，所述方法包括：

提供所述基板；

在所述基板上沉积与薄膜能量存储器件相对应的层，所述层按沉积顺序包括集电极、第一电极、电解质和第二电极；

图案化所述集电极以形成多个集电极带；

图案化所述第一电极以形成多个第一电极带，所述第一电极带中的每一个都位于所述多个集电极带中相对应一个的顶部上；和

图案化所述第二电极以形成多个第二电极带，所述多个第二电极带中的每一个都与所述多个第一电极带中的一个相对应；

其中所述多个电连接的电池中的每一个都包括所述多个集电极带中的一个，所述多个第一电极带中的所述相对应一个，所述多个第二电极带中的所述相对应一个和所述电解质的层的相对应部分。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述多个集电极带、所述多个第一电极带和所述多个第二电极带相互平行。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述多个电池被构造成电池的串联链，其中对应于所述多个电池中的一个的所述集电极带电连接到对应于与所述多个电池中的所述一个相邻的所述电池的所述第二电极带。

4.一种用于形成能量存储器件的装置，所述能量存储器件包括集成在基板上的多个电池，所述多个电池串联电连接，所述装置包括：

沉积工具，所述沉积工具在基板上沉积与薄膜能量存储器件相对应的层，所述层按沉积顺序包括集电极、第一电极、电解质和第二电极；

第一图案化工具，所述第一图案化工具图案化所述集电极以形成多个集电极带；

第二图案化工具，所述第二图案化工具图案化所述第一电极以形成多个第一电极带，所述第一电极带中的每一个都在所述多个集电极带中相对应一个的顶部上；和

第三图案化工具，所述第三图案化工具图案化所述第二电极以形成多个第二电极带，所述多个第二电极带中的每一个都与所述多个第一电极带中的一个相对应；

其中所述多个电连接的电池中的每一个都包括所述多个集电极带中的一个，所述多个第一电极带中的所述相对应一个，所述多个第二电极带中的所述相对应一个和所述电解质的层的相对应部分。

5.如权利要求4所述的装置，所述装置进一步包括：

在卷到卷系统上，移动所述基板经过所述沉积工具、所述第一图案化工具、所述第二图案化工具和所述第三图案化工具；

其中所述基板是柔性基板。

6.一种能量存储器件，所述能量存储器件包括：

形成在单个基板上的多个薄膜电池，所述多个电池串联电连接，所述多个电池中的每一个都包括：

在所述基板表面上的集电极；

在所述集电极上的第一电极；

在所述第一电极上方的第二电极；和

在所述第一电极和所述第二电极之间的电解质层。

7.如权利要求6所述的能量存储器件，其中多个集电极被构造成平行带，其中多个第二电极被构造成平行带，其中所述多个集电极被构造成与所述多个第二电极平行。

8.如权利要求7所述的能量存储器件，其中所述多个第一电极被构造成平行带，其中所述多个第一电极被构造成与所述多个集电极平行。

9.如权利要求6所述的能量存储器件，其中通过对应于所述多个电池中的第一个的集电极带与对应于所述多个电池中的第二个的第二电极带的电接触，所述多个电池中的所述第一个和所述多个电池中的所述第二个串联电连接，其中在所述基板上所述电池的所述第一个与所述电池的所述第二个相邻。