[发明专利]发光二极管用外延晶片有效
申请号: | 201080019083.9 | 申请日: | 2010-02-24 |
公开(公告)号: | CN102422445A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 濑尾则善;松村笃;竹内良一 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | H01L33/30 | 分类号: | H01L33/30;C23C16/30;H01L21/265 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;杨光军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 二极 管用 外延 晶片 | ||
1.一种发光二极管用外延晶片,其特征在于,
具备GaAs基板、设置在所述GaAs基板上的pn结型的发光部和设置在所述发光部上的应变调整层,
所述发光部具有组成式为(AlXGa1-X)YIn1-YP的应变发光层,其中,X和Y是分别满足0≤X≤0.1以及0.39≤Y≤0.45的数值,
所述应变调整层对于发光波长透明并且具有比所述GaAs基板的晶格常数小的晶格常数。
2.根据权利要求1所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变发光层的组成式为GaYIn1-YP,其中,Y是满足0.39≤Y≤0.45的数值。
3.根据权利要求1或2所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变发光层的厚度为8~30nm的范围。
4.根据权利要求1~3的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变调整层的组成式为(AlXGa1-X)YIn1-YP,其中,X和Y是分别满足0≤X≤1以及0.6≤Y≤1的数值。
5.根据权利要求1~3的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变调整层的组成式为AlXGa1-XAs1-YPY,其中,X和Y是分别满足0≤X≤1以及0.6≤Y≤1的数值。
6.根据权利要求1~3的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变调整层的材质为GaP。
7.根据权利要求1~6的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变调整层的厚度为0.5~20μm的范围。
8.根据权利要求1~7的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述发光部具有所述应变发光层与势垒层的叠层结构,包含8~40层的所述应变发光层。
9.根据权利要求1~8的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述势垒层的组成式为(AlXGa1-X)YIn1-YP,其中,X和Y分别是满足0.3≤X≤0.7以及0.49≤Y≤0.52的数值。
10.根据权利要求1~9的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,
在所述发光部的上面和下面的一方或两方具有覆盖层,
所述覆盖层的组成式为(AlXGa1-X)YIn1-YP,其中,X和Y是分别满足0.5≤X≤1以及0.48≤Y≤0.52的数值。
11.根据权利要求1~10的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述GaAs基板的面取向的范围是从(100)方向向(0-1-1)方向偏离15°±5°。
12.根据权利要求1~11的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述GaAs基板的直径为75mm以上。
13.根据权利要求12所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,翘曲量为200μm以下。
14.根据权利要求1~13的任一项所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,是用于促进植物培育的光合作用的发光二极管用外延晶片,所述应变发光层的峰发光波长为655~675nm的范围。
15.根据权利要求14所述的发光二极管用外延晶片,其特征在于,所述应变发光层的在发光波长700nm下的发光强度低于在所述峰发光波长下的发光强度的10%。
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