[发明专利]确定基底完整性的非破坏性信号传播系统和方法

权利要求书

1.检测基底中一个或一个以上缺陷的非破坏性信号传播系统，该系统包括：

变换器，其被配置为将一个或一个以上频率从电信号转换成至少一机械脉冲，该至少一机械脉冲被配置为与该基底耦合；

多个传感器，该多个传感器位于变换器的远端并且被配置为与该基底耦合。该多个远端传感器进一步配置为检测该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变；以及

信号分析仪，其与该多个远端传感器耦合，以便将所检测的该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变与基线响应相比较。

2.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括紧邻该变换器放置并与该信号分析仪耦合的多个传感器，该多个紧邻传感器配置为与该基底耦合。

3.根据权利要求1所述的系统，其中该一个或一个以上频率在电磁频谱的音频部分内。

4.根据权利要求1所述的系统，其中该一个或一个以上的频率在电磁频谱的音频部分之上。

5.根据权利要求1所述的系统，其中该一个或一个以上的频率被提供给变换器作为单脉冲。

6.根据权利要求1所述的系统，其中该一个或一个以上的频率被提供给变换器作为系列脉冲。

7.根据权利要求1所述的系统，其中该基线响应基于计算模块，已知良好的基底，或多个基底的移动平均。

8.根据权利要求1所述的系统，其中该系统被装配到与半导体设备部件关联的基底处理机构中。

9.检测基底中一个或一个以上缺陷的非破坏性信号传播方法，该方法包括：

在变换器中将一个或一个以上频率从电信号转换成至少一机械脉冲；

将该变换器放置在使该至少一机械脉冲耦合至基底的位置；

将多个传感器放置到该变换器的远端。配置该多个远端传感器与该基底耦合；

用该多个远端传感器检测该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变；以及

将所检测的该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变与基线响应相比较以检测一个或一个以上缺陷。

10.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括放置多个传感器紧邻该变换器，配置该多个紧邻传感器与该基底耦合。

11.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括在电磁频谱的音频部分内选择该一个或一个以上频率。

12.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括在电磁频谱的音频部分上选择该一个或一个以上频率。

13.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将该一个或一个以上频率施加到变换器作为单脉冲。

14.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将该一个或一个以上频率施加到变换器作为系列脉冲。

15.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括使该基线响应基于计算模块、已知良好的基底、多个基底响应的移动平均。

16.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括基于该一个或一个以上缺陷存在于该基底中的结果确定基底处理。

17.用于检测基底中一个或一个以上缺陷的非破坏性信号传播系统，该系统包括：

变换器装置，其用于将一个或一个以上频率从电信号转换成至少一机械脉冲，配置该至少一机械脉冲与该基底耦合；

主传感装置，其用于与该基底耦合，并检测该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变；以及

分析装置，其用于将所检测的该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变与基线响应相比较。

18.根据权利要求17所述的系统，其进一步包括第二传感，该第二传感应用于检测缘于该基底中阻抗不匹配的在该至少一机械脉冲中的任何畸变。