[发明专利]抗蚀剂剥离组合物和生产电气装置的方法

权利要求书

1.一种液体组合物，其包含：

(A)至少一种极性有机溶剂，其选自在0.06-4重量％溶解氢氧化四甲铵(B)的存在下—其中重量％基于相应试验溶液(AB)的总重量—在50℃下对含远紫外线吸收发色团的30nm厚聚合物减反射阻挡层显示出恒定去除速率的溶剂，

(B)至少一种氢氧化季铵，和

(C)至少一种含至少一个伯氨基的芳族胺。

2.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于其不含N-烷基吡咯烷酮和羟胺及羟胺衍生物。

3.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于所述芳族胺(C)含有一个伯氨基作为唯一的官能团。

4.根据权利要求3的液体组合物，其特征在于所述芳族胺为苯胺。

5.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于其显示出通过旋转粘度测定法测定的在50℃下为1-10mPas的动态切变粘度。

6.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于选择至少两种溶剂(A)，以使得可在90秒内去除所述减反射阻挡层。

7.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于所述溶剂(A)显示出100℃以上的沸点。

8.根据权利要求7的液体组合物，其特征在于所述溶剂(A)显示出在密封杯中测定的为50℃以上的闪点。

9.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于所述溶剂(A)选自包含至少两个伯氨基的脂族多胺、在一个伯氨基与一个羟基之间具有至少一个具有至少3个碳原子的碳链的脂族链烷醇胺、脂族亚砜和N-取代咪唑类。

10.根据权利要求9的液体组合物，其特征在于所述溶剂(A)选自二亚乙基三胺、N-甲基咪唑、3-氨基-1-丙醇、5-氨基-1-戊醇和二甲亚砜。

11.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于所述氢氧化季铵(B)选自氢氧化四甲铵、氢氧化四乙铵、氢氧化四丙铵、氢氧化四丁铵、氢氧化苄基三甲铵和氢氧化(2-羟乙基)铵。

12.根据权利要求11的液体组合物，其特征在于所述氢氧化季铵(B)为氢氧化四甲铵。

13.根据权利要求1的液体组合物，其特征在于其含有至少一种选自如下组的其它组分：水(D)、不同于溶剂(A)的极性有机溶剂(E)、不同于芳族胺(C)的腐蚀抑制剂(F)、螯合剂(G)、氟化物盐(H)和表面活性剂(I)。

14.根据权利要求13的液体组合物，其特征在于所述极性有机溶剂(E)选自在0.06-4重量％溶解氢氧化四甲铵(B)的存在下—其中重量％基于相应试验溶液(EB)的总重量—在50℃下对含远紫外线吸收发色团的30nm厚聚合物减反射阻挡层显示出随氢氧化四甲铵(B)浓度的提高而提高的去除速率的溶剂。

15.根据权利要求14的液体组合物，其特征在于所述极性溶剂(E)选自乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、异丙醇胺、2-(2-氨基乙基氨基)乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、二甘醇单乙醚、二甘醇单丁醚、N-(2-羟乙基)哌啶、1，3-二甲基-3，4，5，6-四氢-2-(1H)-嘧啶酮和N-(3-氨基丙基)咪唑。

16.根据权利要求13的液体组合物，其特征在于所述腐蚀抑制剂(F)选自铜腐蚀抑制剂。

17.一种制备液体组合物的方法，所述方法包括如下步骤：

(I)选择至少一种在0.06-4重量％溶解氢氧化四甲铵(B)的存在下—其中重量％基于相应试验溶液的总重量—在50℃下对含远紫外线吸收发色团的30nm厚聚合物减反射阻挡层显示出恒定去除速率的极性有机溶剂(A)，和

(II)将至少一种所选择的极性有机溶剂(A)、至少一种氢氧化季铵(B)和至少一种含至少一个伯氨基的芳族胺(C)混合。

18.根据权利要求17的方法，其特征在于将由工艺步骤(II)获得的混合物在50℃下的动态切变粘度调节至1-10mPas，通过旋转粘度测定法测定。

19.根据权利要求17的方法，其特征在于不使用N-烷基吡咯烷酮和羟胺及羟胺衍生物。