[发明专利]有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶和其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶和其制造方法。更为详细地，涉及大型的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶。

背景技术

目前，作为显示器设备，已知有布朗管（CRT）、液晶显示器（LCD）、等离子体显示器（PDP）、发光二极管（LED）和EL显示器等，广泛用于计算机用显示器、液晶显示器的背面板等。

其中，有机EL元件是使用下述原理的发光元件，所述原理是在形成于有机EL发光层的两侧的阳极和阴极之间施加电压，将空穴和电子分别从阳极和阴极注入有机EL膜，在有机EL发光层中空穴和电子结合时而发光的原理，该有机EL元件近年来非常受到瞩目。

有机EL元件的驱动方式有无源矩阵方式和有源矩阵方式。该有源矩阵方式是下述那样的驱动方式，即，通过对一个像素设置一个以上的薄膜晶体管，能够以高速进行开关，从而在高对比度、高精细化方面有利，能够发挥有机EL元件的特征。

另外，光的获取方式有从透明基板侧获取光的底部发光方式、和在与基板相反侧获取光的顶部发光方式，开口率高的顶部发光方式有利于形成高亮度，认为是今后的趋势。

图1表示以反射电极为阳极的顶部发光结构的层构成的例子。其中，为了高效地反射在有机EL层发出的光，优选反射电极膜（图1中记为“反射阳极膜”）为高反射率，且耐腐蚀性高。此外，电极也优选为低电阻。作为这种材料，已知有Ag合金和Al合金，但为了得到更高亮度的有机EL元件，由于可见光反射率高，从而Ag合金是优异的。

其中，为了在有机EL元件上形成反射电极膜，可以采用溅射法，可使用银合金靶（专利文献1）。

伴随有机EL元件制造时玻璃基板的大型化，用于形成反射电极膜的银合金靶也开始使用大型的靶。其中，在对大型靶输入高功率进行溅射时，发生由于靶的异常放电而产生的称为“飞溅”的现象，熔融的微粒附着在基板上而有时使布线或电极间产生短路，由此存在使有机EL元件的合格率降低这样的问题。对于顶部发光方式的有机EL元件的反射电极层，由于待成为有机发光层的底层，要求更高的平坦性，需要进一步抑制飞溅。

专利文献1 : 国际公开第2002/077317号。

发明内容

本发明的课题在于提供伴随靶的大型化，即使对靶输入大功率也可抑制飞溅的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶。

本发明人发现利用特定的制造方法，使有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶的晶粒的平均粒径为150～400μm，由此即使输入大功率，也可以抑制飞溅。具体来说，本发明涉及通过具有以下构成而解决上述问题的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶和其制造方法。（1）有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶，其是具有含有In：0.1～1.5质量%，剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成的成分组成的银合金靶，其特征在于，该合金的晶粒的平均粒径为150～400μm，上述晶粒的粒径偏差为平均粒径的20%以下。（2）上述（1）所述的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶，其特征在于，靶表面具有0.25m²以上的面积。（3）有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶的制造方法，其特征在于，依次进行下述工序：将具有含有In：0.1～1.5质量%、剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成的成分组成的熔融铸造铸锭重复进行6～20次热镦锻的工序、冷轧的工序、热处理的工序、机械加工的工序。（4）上述（3）所述的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶的制造方法，其中，热镦锻的温度为750～850℃。（5）有机EL元件，其含有用上述（1）或（2）所述的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶形成的反射电极膜。

根据本发明（1）和（2），可以得到即使在溅射中输入大功率，也可抑制异常放电、抑制飞溅发生的靶，通过将该靶进行溅射，可以得到反射率高、具有优异耐久性的有机EL用的反射电极膜。

此外，根据本发明（3）和（4），可以制造即使在溅射中输入大功率，也可抑制飞溅发生的有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶。

附图说明

图1是以反射电极为阳极的顶部发光结构的层构成的例子。

图2是说明热锻的方法的图。

图3是利用光学显微镜以30倍的倍数拍摄实施例1的银合金靶的照片。

具体实施方式

以下，基于实施方式来具体地说明本发明。应予说明，只要没有特别地说明，以及除了数值自有的情况，%表示质量%。

〔有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶〕