[发明专利]遮蔽的闸阀

权利要求书

1.一种用于过程腔室的闸阀，包含：

主体，具有开口，所述开口设置成从所述主体的第一表面穿过所述主体到所述主体的相对第二表面；

凹穴，从所述开口的侧壁延伸到所述主体内；

闸，可移动地设置在所述凹穴内，而介于密封所述开口的关闭位置与显露所述开口且将所述闸完全地设置在所述凹穴内的开启位置之间；及

遮蔽件，用以在所述闸处于所述开启位置时可选择性地密封所述凹穴。

2.根据权利要求1所述的闸阀，还包括：

致动器，连接到所述遮蔽件，以在开启位置与密封所述凹穴的关闭位置之间移动所述遮蔽件，其中所述开启位置容许所述闸在所述开启位置与所述关闭位置之间移动。

3.根据权利要求1所述的闸阀，其中，所述主体、所述遮蔽件、及所述闸阀是由铝或不锈钢中的一或多者形成。

4.根据权利要求1所述的闸阀，其中，所述遮蔽件是环状圆柱体。

5.根据权利要求1所述的闸阀，还包括：

一或多个加热器，连接到所述主体或所述遮蔽件中的至少一者。

6.根据权利要求5所述的闸阀，其中，所述一或多个加热器设置在所述主体的所述第一和第二表面上。

7.根据权利要求6所述的闸阀，其中，所述一或多个加热器设置在所述主体介于所述第一和第二表面之间的侧表面上。

8.根据权利要求5所述的闸阀，其中，在所述闸阀处于所述开启位置时，所述一或多个加热器将所述遮蔽件面对所述开口的表面维持在约85℃至约95℃的温度。

9.根据权利要求5所述的闸阀，其中所述一或多个加热器是可拆卸的。

10.根据权利要求5所述的闸阀，还包括：

一或多个温度传感器，连接到所述主体或所述遮蔽件中的至少一者。

11.根据权利要求10所述的闸阀，其中，所述一或多个温度传感器侦测所述主体或所述遮蔽件中的至少一者的温度。

12.根据权利要求11所述的闸阀，其中，所述一或多个温度传感器可以侦测约-40℃至约120℃范围的温度。

13.一种用以处理基材的设备，包含：

过程腔室，具有内部空间用以在处理期间将基材固持于其中；及

根据权利要求1-12项中任一项所述的闸阀，连接到所述过程腔室。

14.一种从过程环境移除流出物的方法，包含：

提供具有闸阀的过程腔室，所述闸阀连接到所述过程腔室以从所述过程腔室的内部空间排放材料，所述闸阀包含：

主体；具有设置穿过所述主体的开口；

凹穴，从所述开口的侧壁延伸到所述主体内；

闸，可移动地设置在所述凹穴与所述开口中，其中，所述闸在所述闸阀处于所述开启位置时完全地设置在所述凹穴内；及

遮蔽件，其在所述闸阀处于所述开启位置时可选择性地密封所述凹穴；

在所述过程腔室中执行过程，所述过程腔室产生要从所述内部空间移除的流出物；及

所述闸阀处于所述开启位置，使所述流出物从所述内部空间流动通过所述开口，以从所述过程环境移除污染物。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括：

加热所述闸阀，以避免污染物沉积在所述闸阀的暴露表面上。