[发明专利]使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查

说明书

技术领域

本发明涉及使用光学显微镜和粒子束显微镜的组合对对象进行显微检查。

背景技术

特别是对于生物和材料科学样品，使用光学显微镜(例如光显微镜)和粒子束显微镜(例如电子显微镜)二者进行检查经常是期望的。在现有技术中，可以实施这两种显微镜方法的复杂显微镜被用于此。一种这样的显微镜例如从EP0849765 A2或US6683316 B2已知。这种组合显微镜是复杂的，特别是因为必须将整个光学显微镜集成在粒子束显微镜所需要的真空腔体内，并且必须提供在真空下在两种显微镜之间移动样品的样品台。这导致比较大的真空体积以及另外导致在制造随后必须适合在真空下使用的光学显微镜时显著的支出。另一个缺点在于，在真空下不能实施利用浸渍的光学成像。如果在粒子束显微镜检查期间对象不是布置在真空下，如例如在根据US20080308731 A1的组合显微镜中那样，成像质量变差，因为电子在膜状物上以及在空气中被散射。

作为使用这种组合显微镜的可替换方案是依次使用单个装置。在现有技术中，为此使用了支架的各种设计。对于光学显微镜，习惯上使用测量的尺寸为几厘米的玻璃载物片以及放置在样品上方的盖玻片。在电子显微镜中，测量的大小为几毫米的格栅或者金属样品板是常例的。为了将待微观检查的对象例如生物样品从光学显微镜传递到粒子束显微镜，样品必须从一个支架系统转移到另一个支架系统。这涉及一些缺点。首先转移是耗时的并且承受损坏或损毁样品的风险。第二，在两种显微镜方法中提供位置参考是困难的，因为例如首先使用光学显微镜检查的区域的位置必须再次被发现以用于粒子束显微镜。此处使用对象中或生物样品上的标记也不提供进一步的帮助，因为例如由于畸变的原因，在转移期间样品的结构通常改变。因此使用其它方法已经微观检查的对象位置的耗时和费力的恢复是不可避免的。

因此本发明的目的是促进使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查，而不必引起组合显微镜所需要的支出。

发明内容

根据本发明此目的是通过一种使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查的载物片系统来实现，其中该系统包括：导电支架，其中至少一个窗口形成于该支架中并且其中该支架优选地具有用于光学显微镜的标准玻璃载物片的尺度；载物片元件，其形成为承载用于显微检查的对象且其形成为覆盖该窗口；以及紧固装置，其形成为将载物片元件固定在该窗口上方。

在本说明书中窗口也表示未完全被支架的材料围绕并且例如位于载物片的边缘的开口。

在本发明的范围内，还提供了一种用于对象的显微检查的方法，其中使用光学显微镜，以及在之前或者之后使用粒子束显微镜检查对象，其中还使用所定义类型的载物片系统。对象因而放置在载物片元件上并且安置在支架的窗口上方。支架随后被接连插入所使用的这两个显微镜，即光学显微镜和粒子束显微镜，结果是使用两个显微镜接连检查对象。

如所提及，对象的重定位是不可能的。在两个显微镜中对象定位在同一支架上的事实是有利的，特别是如果使用这样的显微镜，该显微镜具有在支架被插入显微镜时用于移动支架的机构。在该方法的发展中，于是有可能使用一种载物片系统，该载物片系统的支架具有所提到的(多个)对齐标记。对象区域被定义，并且在利用首先使用的显微镜(例如光学显微镜)的显微镜检查期间，对象区域和对齐标记的相对位置被确定，其中通过致动该机构，利用首先使用的显微镜来成像该对象区域以及(多个)对齐标记。由于对象区域和(多个)对齐标记的相对位置因此已知，对齐标记被成像在随后使用的显微镜(例如粒子束显微镜)中，并且通过从对齐标记开始致动该机构以及通过使用已经知晓的相对位置来接近该对象区域。

该方法也可以细化为使得在两个显微镜中，通过使用该显微镜成像(多个)对齐标记来确定对齐标记相对于各个显微镜的位置。对象区域的位置于是被存储为与(多个)对齐标记的关系。

该方法使得有可能容易地将特定对象区域带到各个显微镜中的期望位置，因为通过该(多个)对齐标记实现了相对于该支架在位置上的该对象区域的校准。