[发明专利]透明等离子体坩埚

权利要求书

1.一种透明等离子体坩埚，其尺寸被设为具有低阶横电微波模式特性或低阶横磁微波模式特性。

2.根据权利要求1所述的透明等离子体坩埚，其中该模式的阶为0、1或2。

3.根据权利要求1或2所述的透明等离子体坩埚，为矩形坩埚。

4.根据权利要求1或2所述的透明等离子体坩埚，为圆柱状透明坩埚。

5.根据权利要求4所述的透明等离子体坩埚，其中直径(d)、长度(l)和操作频率(f)落入下列范围内-(d)和(l)以cm表示，(f)以MHz表示：

·直径除以长度的平方-(d/l)²-在0至100之间以及

·直径乘以频率的平方-(d×f)²-在0至2×10⁹之间。

6.根据权利要求5所述的透明等离子体坩埚，其中(d/l)²在0至20之间。

7.根据权利要求5或6所述的透明等离子体坩埚，其中(d×f)²在0至1.5×10⁹之间。

8.根据权利要求4至7中的任一权利要求所述的透明等离子体坩埚，不包括长63mm、直径为43mm正圆柱体石英坩埚。

9.根据权利要求1至8中的任一权利要求所述的透明等离子体坩埚，其中该坩埚的模式选自下列模式：

·TE111

·TE211

·TE112

·TE011

·TE212。

10.根据前述任一权利要求所述的透明等离子体坩埚，其中该坩埚由石英制成。

11.一种由微波能量供能的光源，该光源具有：

·固态等离子体坩埚，其材料是透明的，用于使光从中离开，该等离子体坩埚具有在该等离子体坩埚中的密封中空，

·围绕该等离子体坩埚的法拉第罩，该罩至少部分透光，用于使光从该等离子体坩埚离开，同时该法拉第罩是微波封闭的，

·在所述中空中的可由微波能量激发的材料的填充物，用于在其中形成发光等离子体，和

·布置在等离子体坩埚中的天线，用于将诱导等离子体的微波能量传输到填充物，该天线具有：

·延伸到等离子体坩埚外部的连接部，用于耦合至微波能量源；

该光源的特征在于该透明等离子体坩埚为如权利要求1至10中任一权利要求所述的坩埚。