[发明专利]自由滚珠轴承、支承台、搬运设备、转台

说明书

技术领域

本发明涉及自由滚珠轴承、使用该自由滚珠轴承的支承台、搬运设备、转台。

背景技术

若使用利用了自由滚珠轴承的搬运台及定位用台时，能够使搬运物在任意的水平方向上移动及旋转，此时的相对于搬运物的摩擦阻力极小。因此，自由滚珠轴承在需要严格的防损伤或确保高定位精度的制造工序中被采用(例如，专利文献1)。作为该例，具有基板的加工生产线(成膜、抗蚀剂涂敷、曝光、蚀刻等)，具体的搬运物可例示FPD(平板显示器)的显示器用基样玻璃等玻璃基板、半导体元件及半导体封装体等电子零件用的硅基板(晶片)。

在这种处理中，在进行基板处理的真空装置的处理室(处理腔室)、为了在真空装置的入口附近进行基板的定位而设置的称为负载锁定腔室的真空腔室(真空室)或洁净室内可设置本申请的轴承单元。在这种情况下，可将轴承单元用于工件(物品、搬运件)的搬运、支承、定位。

但是，利用自由滚珠轴承的搬运台也广泛用于例如钢板的制造生产线及加工生产线、建材的制造生产线、铺有瓦楞纸板的搬运物的搬运线等。

在这种搬运设备中，为了使搬运中的物品的移动停止或减速，除设置自由滚珠轴承以外，往往还设置使物品碰撞的挡块、缓冲器、使物品接触的导向部件等。近年来，提出有内置于自由滚珠轴承自身且可对搬运中的物品赋予制动力的构成(例如，专利文献2)。利用这种自由滚珠轴承的搬运设备具有不需要挡块、缓冲器、导向部件等的优点。

专利文献1：(日本)特开2005-322894号公报

专利文献2：(日本)特开2004-19877号公报

可是，在利用与主球直接接触的旋转抑制部件的构成中，存在如下问题，即，产生由摩擦造成的主球的损耗，其结果，产生的微粒飞散到腔室及洁净室等搬运室内。另外，在为了降低主球附近的部件的移动阻力而使用润滑脂的构成中，存在从润滑脂发生的逸出气体成为搬运室内的空气污染的原因之类的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而设立的，其目的在于提供一种不引起搬运室内的污染而能够抑制主球旋转的轴承单元、自由滚珠轴承、利用该自由滚珠轴承的支承台、搬运设备、转台。

为了解决上述课题，在本发明提供以下的构成。

(1)本发明第一方面的自由滚珠轴承，具备：球支承部，其具有半球状凹面；多个支承球，其配置在所述半球状凹面，具有同一直径R1；一个主球，其旋转自如地被所述多个支承球支承，具有比所述直径R1大的直径R2；壳体，其具有包围所述球支承部的形状，具有比所述直径R2小的圆形开口部，以使所述主球的一部分从所述开口部、从基端侧向前端侧突出的方式配置；支承球扣环，其配置在所述壳体内部；环形位移机构，其与所述支承球扣环连接。所述支承球扣环在所述半球状凹面与所述主球之间的内侧空间具有向所述基端侧的方向插入的大致圆筒形的按压片，所述支承球扣环通过所述环形位移机构沿着穿过所述主球的中心且沿所述主球突出的方向的轴即单元中心轴，从按压位置可移动到待机位置，在所述支承球扣环位于所述按压位置时，所述按压片按压所述多个支承球，限制或抑制所述多个支承球的滚动；在所述支承球扣环位于所述待机位置时，解除所述按压片对所述多个支承球的滚动的限制或抑制。

(2)、在上述(1)的自由滚珠轴承中，所述壳体在其基端侧具有从外部贯通到内部的检查孔，所述环形位移机构具有：弹簧，其通过将所述环形位移机构向所述基端侧弹性施力，使所述支承球扣环形位移到所述按压位置；操作部位，其为面对所述环形位移机构的所述检查孔的部位，通过将所述环形位移机构的所述操作部位向所述前端侧按压，所述支承球扣环形位移到所述待机位置。

(3)、上述(1)或(2)的自由滚珠轴承还具备：基体部件，其收纳在所述壳体内的所述基端侧，在内部具有圆筒形的缸空间，具有将所述缸空间和所述壳体的内部连通的贯通孔；可动体，其在所述缸空间内沿所述单元中心轴可移动地配置；连接部件，其插通所述基体部件的所述贯通孔，将所述支承球扣环和所述可动体连接。

(4)、在上述(3)的自由滚珠轴承中，所述弹簧以所述可动体相对于所述基体部件向所述基端侧移动的方式施加弹性作用力，所述弹性作用力经由所述连接部件向所述支承球扣环传递。

(5)、在上述(1)的自由滚珠轴承中，所述环形位移机构具有：弹簧，其将所述支承球扣环向所述前端侧弹性施力；制动部件，其与所述环形位移机构连接，使所述环形位移机构朝向所述基端侧位移到所述按压位置。

(6)、在上述(5)的自由滚珠轴承中，所述制动部件为对所述支承球扣环赋予向所述按压位置的位移力的电磁铁。