[发明专利]MEMS装置的防腐和润滑

权利要求书

1.一种机械装置，其包括：

具有接触部分的第一部件，所述接触部分在一侧上包括具有亲水官能团的层；以及

形成于所述层上的涂层，该涂层包括适用于与所述层的亲水官能团相互作用的亲水官能团，并且所述涂层包括与所述涂层的亲水官能团相反的疏水官能团。

2.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述层化学结合在所述第一部件的所述接触部分上。

3.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述层为原子单层。

4.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述层为多层。

5.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述层包括氧化物或氮化物。

6.根据权利要求5所述的机械装置，其中，所述氧化物为氧化铝。

7.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层包括羧酸官能团。

8.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层包括氟化酸。

9.根据权利要求8所述的机械装置，其中，所述氟化酸为全氟癸酸。

10.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层的亲水官能团结合到所述层的亲水官能团上。

11.根据权利要求10所述的机械装置，其中，所述涂层相对较弱地结合到所述层上。

12.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层适用于在为蒸气形式的同时形成于所述层上。

13.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层适用于在暴露于升高的温度时结合到所述层上。

14.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层适用于在暴露于升高的温度时释放出润滑剂。

15.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述机械装置为MEMS装置。

16.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述机械装置为空间光调节器。

17.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述层覆盖所述机械装置的基本上全部，并且所述涂层覆盖所述层的基本上全部。

18.根据权利要求1所述的机械装置，其中，所述涂层如此适用，从而在该涂层活化时，所述涂层的亲水官能团结合到所述层的亲水官能团上。

19.根据权利要求18所述的机械装置，其中，使所述涂层活化包括将所述涂层暴露于升高的温度。

20.根据权利要求18所述的机械装置，其中，所述涂层相对较弱地结合到所述层上。

21.根据权利要求18所述的机械装置，其中，使所述涂层活化包括将封装在所述涂层中的润滑剂释放出。

22.根据权利要求1所述的机械装置，还包括：

第二部件的接触部分，其与所述第一部件的接触部分的所述一侧可脱开地接触。

23.一种涂覆方法，该方法包括：

形成具有第一接触部分的机械装置；

在所述第一接触部分的一侧上形成层，所述层包括亲水官能团；以及

向包括亲水官能团的所述层涂覆涂层，所述涂层适用于结合到所述层的亲水官能团上，所述涂层包括与所述涂层的亲水官能团相反的疏水官能团。

24.根据权利要求23所述的涂覆方法，其中，形成所述层包括将所述层化学结合到所述机械装置的表面上。

25.根据权利要求23所述的涂覆方法，其中，所述层包括原子单层。

26.根据权利要求23所述的涂覆方法，其中，所述层包括氧化物。

27.根据权利要求26所述的涂覆方法，其中，所述氧化物为氧化铝。

28.根据权利要求23所述的涂覆方法，其中，所述涂层包括羧酸官能团。