[发明专利]用于硅生长棒的容纳锥形件

权利要求书

1.在用于积聚多晶硅的反应器中用于硅生长棒的容纳锥形件，所述容纳锥形件由石墨制成，其特征在于，所述容纳锥形件由旋转对称的基体(2)组成，所述基体具有能居中地在最高位置处插入到所述基体中的用于容纳所述硅生长棒(1)的单件式夹紧元件(3)，其中，所述基体(2)呈锅盖状地为容纳联接销(4)而留有凹口，并且其中，所述基体的边缘(5)能够插入到所述反应器的底部中的电流馈引件中，其中，各部件：硅生长棒(1)、夹紧元件(3)、基体(2)和所述电流馈引件的容纳件以及联接销(4)能够以形状锁合和力锁合的方式彼此插接。

2.根据权利要求1所述的容纳锥形件，其特征在于，所述基体(2)设有居中的盲孔(7)以容纳所述夹紧元件(3)。

3.根据权利要求1所述的容纳锥形件，其特征在于，所述单件式夹紧元件(3)旋转对称地，类似于夹爪地构造，并且具有用于所述硅生长棒(1)的、贯穿的、沿纵向延伸的容纳孔(7)。

4.根据权利要求1至3所述的容纳锥形件，其特征在于，所述夹紧元件(3)从两个端面出发设有沿所述夹紧元件延伸的、未贯穿的裂口(10)，所述裂口交替地从一个端面或者另一个端面(8；9)出发。

5.根据权利要求4所述的容纳锥形件，其特征在于，在所述夹紧元件(3)中设置有各两组三个以120°错开的所述裂口(10)，其中，从一个端面(8)出发的所述裂口(10)相对于从另一端面(9)出发的所述裂口(10)以60°错开。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的容纳锥形件，其特征在于，所述夹紧元件(3)在一个末端设有凸缘(11)，其中，从所述夹紧元件(3)的在凸缘侧上的端面(8)出发的所述裂口(10)延伸穿过所述凸缘(11)，并且其中，所述夹紧元件(3)的接到所述凸缘(11)上的部分最大相应于所述盲孔(6)的深度。

7.根据权利要求6所述的容纳锥形件，其特征在于，所述盲孔(6)在深度上呈锥形地逐渐变细。

8.根据权利要求7所述的容纳锥形件，其特征在于，所述盲孔(6)具有0.5°-30°的锥角。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的容纳锥形件，其特征在于，所述夹紧元件(3)的外壳面从所述凸缘(11)朝向对置的端面(9)如所述盲孔6那样以相同的锥角逐渐变细。

10.根据权利要求9所述的容纳锥形件，其特征在于，呈锅盖状的所述基体的所述边缘(5)如所述电流馈引件中的对应件那样相同程度地呈锥形地逐渐变细。

11.根据权利要求10所述的容纳锥形件，其特征在于，所述边缘(5)的锥角和所述电流馈引件中的所述对应件的锥角为4°-5°。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的容纳锥形件，其特征在于，至少在所述电流馈引件的容纳件和所述基体(2)之间布置有能导电的分离元件(11)。

13.根据权利要求12所述的容纳锥形件，其特征在于，所述分离元件(11)同时是扩散阻碍装置并且由银制成。

14.根据权利要求13所述的容纳锥形件，其特征在于，所述分离元件(11)相应于所述基体(2)内轮廓的负形并且在下侧上相应于所述电流馈引件的所述联接销(4)的负形。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的容纳锥形件，其特征在于，至少在所述基体(2)和被附着生长的硅棒之间布置有分离器具(13)。

16.根据权利要求15所述的容纳锥形件，其特征在于，所述分离器具(13)是导电箔或者垫片，并且由CFC(碳纤维增强碳)或者另外的石墨箔制成。

17.根据权利要求16所述的容纳锥形件，其特征在于，所述分离器具(13)延伸直至所述盲孔(6)的底部。