[发明专利]三维形貌检测方法

权利要求书

1.一种三维形貌检测方法，用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征在于，包括：

中心部确定步骤，获得所述焊锡球的图像后确定所述焊锡球的中心部；

图像获得步骤，在所述被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括所述基板上面和所述焊锡球的整合图像；

相位值确定步骤，在所述整合图像中选定通过所述焊锡球中心部的虚拟直线即基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于所述基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及

高度计算步骤，由所述焊锡球中心部的相位值和所述基板的相位值之间的差，计算从所述基板上面到所述焊锡球中心部的高度。

2.根据权利要求1所述的三维形貌检测方法，其特征在于，在所述中心部确定步骤中，在所述焊锡球的上侧围设有环形照明装置并由所述环形照明装置照射光线的状态下，获得所述焊锡球的图像。

3.根据权利要求1所述的三维形貌检测方法，其特征在于，在所述图像获得步骤中，向配置在所述基板和所述焊锡球的上侧并设有多个格子图案的格子单元上投射光线，从而在所述被检测体上形成正弦波图纹，

将所述格子单元反复移动相当于N等分所述格子单元周期的相位，获得N幅所述整合图像，

其中所述N为大于或等于3的整数。

4.根据权利要求1所述的三维形貌检测方法，其特征在于，在所述相位值确定步骤中，在位于所述基准线的基板上获取投影了正弦波图纹的多个位置的相位值，并求其平均值后将结果定为所述基板的平均相位值，

在所述高度计算步骤中，由所述焊锡球中心部的相位值和所述基板的平均相位值之间的差，计算从所述基板上面到所述焊锡球中心部的高度。

5.根据权利要求1所述的三维形貌检测方法，其特征在于，在所述相位值确定步骤中，在位于所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹的多个位置的相位值后分别将其确定为焊锡球中心部的相位值，在位于所述基准线的基板上获取投影了正弦波图纹的多个位置的相位值后求其平均值，并将此结果作为所述基板的平均相位值，

在所述高度计算步骤中，求出每个焊锡球中心部相位值和所述基板的平均相位值之间的差，并由该相位值之间差的平均值计算从所述基板上面到所述焊锡球中心部的高度。