[发明专利]电感等离子体涂敷器

权利要求书

1.一种电感等离子体涂敷器包括：

-支持元件，具有大致平板形状，适于形成部分真空容器壁的部分或适于被布置在真空容器壁上，所述支持元件具有意欲面向真空容器的内部容积定向的前表面、后表面以及可能的位于前表面和后表面之间的额外表面，所述表面彼此平行；

-至少一个铁磁体电感耦合等离子体源，其包括：

-至少一个导电线圈，包括一匝或多匝，具有平面螺旋设计，被布置在支持元件的表面上；

-开环铁磁芯，具有至少两个面向同一磁输出侧定向的末端面；以及

-用于将铁磁芯刚性地连接在与所述支持元件的前表面相对的支持元件上的装置，使铁磁芯的磁输出侧面向真空容器的内部容积定向，以及围绕磁通束的一匝或多匝线圈，该磁通束通过该铁磁芯的至少一个末端面流出；以及

-至少一个具有一孔样式的电极，孔关于线圈对中并且适于不抑制磁通束在真空容器的内部容积中延伸，所述电极进一步适于形成带有位于涂敷器外部的另一电极的电容器；

其特征在于，该铁磁电感耦合等离子体源的线圈和该电极包括各自的被分布在支持元件表面上的金属轨道部分，使该电极的金属轨道部分比线圈的金属轨道部分更接近于真空容器的内部容积。

2.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，该支持元件包括彼此叠合的多个基底单元的组件，使每个基底单元的表面形成支持元件的表面。

3.根据权利要求2所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，该线圈为圆柱形并在支持元件的多个表面中具有一匝或多匝。

4.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，支持元件和金属轨道部分形成选自一列表中的组件，该列表包括：印刷电路板组件，厚膜技术组件，以及共焙烧陶瓷技术组件。

5.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，支持元件包括凹陷部分，从而铁磁芯的末端面比线圈的金属轨道部分更接近于真空容器的内部容积。

6.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，所述铁磁芯的厚度和最长直径之间的比值高于0.2，优选为高于0.3，所述厚度和直径分别垂直于和平行于支持元件的表面测得。

7.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，线圈的至少一个金属轨道部分厚于30μm，优选为厚于100μm，垂直于支持元件的表面。

8.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，进一步包括由支持元件承载的电气部件，且从以下列表中选择：电源部件、功率分布部件、阻抗匹配部件、操作控制部件、加热部件、探针和测量部件。

9.根据权利要求1所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，包括多个彼此并置并平行于支持元件表面的铁磁电感耦合等离子体源。

10.根据权利要求9所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，至少两个铁磁电感耦合等离子体源的各自线圈以串联或并联或以一种串并联混合的方式电连接。

11.根据权利要求10所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，进一步包括第一金属轨道段，用于串联地电连接至少两个铁磁电感耦合等离子体源的各自线圈。

12.根据权利要求9所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，进一步包括第二金属轨道段，用于彼此电连接具有分别与至少两个不同铁磁电感耦合等离子体源的线圈对中的孔样式的电极。

13.根据权利要求9所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，具有分别与至少两个不同铁磁电感耦合等离子体源的线圈对中的孔样式的电极包括一个共用的金属轨道部分。

14.根据权利要求9所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，具有分别与至少两个不同铁磁电感耦合等离子体源的线圈对中的孔样式的电极被并联连接。

15.根据权利要求9所述的电感等离子体涂敷器，其特征在于，铁磁电感耦合等离子体源被并置以便形成平行于真空容器壁的等离子体源阵列。