[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及根据权利要求1的前述部分的微机械构件。此外本发明还涉及用于微机械构件的制造方法。

背景技术

微机械构件通常具有相对于微机械构件的保持装置可调节的元件。此外，微机械构件还可以具有分析处理装置，所述分析处理装置被设计用于确定关于可调元件相对于保持装置的当前位置的信息。

传统的分析处理装置例如包括光学传感器，所述光学传感器包括用于发射朝着可调元件的反射表面的光束的光源和用于测定在反射表面上反射的光束的入射点的探测器。但这种光学传感器相对较贵且需要相对较大的空间。此外，用于分析处理由光学传感器提供的值的分析处理方法相对繁琐。

作为光学传感器的替代方案，分析处理装置可以具有电容传感器。在此情况下，可调元件具有第一电极。第一电极与固定地设置在保持装置上的第二电极之间的电容能够推出可调元件相对于保持装置的当前位置。但具有这种电容传感器的分析处理装置需要高耗费的电子装置以滤除干扰信号。此外，用于相对于保持装置调节所述可调元件的电驱动装置的施加电压可能导致电容传感器的测量误差。

此外，由现有技术已知了一些测量方法，在这些测量方法中，弹簧配备有压阻传感器元件，可调元件通过所述弹簧与保持装置连接。在此情况下，相对于保持装置调节可调元件往往引起作用到压阻元件上的机械应力。由压阻传感器元件提供的传感器信号由于所述机械应力而发生变化。

但实施这种测量方法需要借助于电供给和/或探测线路电连接设置在弹簧上或弹簧中的压阻传感器元件。这尤其是在使用至少两个压阻传感器元件来测定可调元件在至少两个空间方向上的当前位置时经常导致问题。根据现有技术，在这种测量方法中，第一压阻传感器元件设置在第一弹簧上或第一弹簧中，第二压阻传感器元件设置在第二弹簧上或第二弹簧中。通常在调节所述可调元件时绕第一旋转轴线扭转第一弹簧。相应地，当绕第二旋转轴线相对于保持装置调节所述可调元件时，扭转第二弹簧。

如果第一弹簧构造为外部弹簧而第二弹簧构造为内部弹簧，则必须引导第二压阻传感器元件的供电和/或探测线路通过第一弹簧。这尤其在宽度小于50μm的窄弹簧的情况下是几乎不可实施的。此外，在第一弹簧弯曲时可能损害第二压阻传感器元件的供电和/或探测线路(尤其是当其由铝制成时)。另外，第二压阻传感器元件的被引导通过第一弹簧的供电和/或探测线路通常会降低可调元件绕第一旋转轴线的可调节性。

发明内容

本发明提供了一种具有权利要求1的特征的微机械构件和具有权利要求11的特征的用于微机械构件的制造方法。

弹簧的第一固定区域和/或弹簧的第二固定区域例如可理解为保持装置的以下区域和/或可调元件的以下区域：所述区域接触或者紧邻弹簧。优选地，弹簧通过第一固定区域如此与保持装置的至少一个子单元连接并且通过第二固定区域如此与可调元件的至少一个子单元连接，使得在弹簧扭转或弯曲时在至少一个固定区域中出现机械应力。

通过第一压阻传感器元件和第二压阻传感器元件设置在共同的弹簧上或者共同的弹簧中或者至少一个固定区域中，例如可以构造第一压阻传感器元件和第二压阻传感器元件的至少一个共同的线路。共同的线路可理解为接触第一压阻传感器元件和第二压阻传感器元件的线路。通过所述方式，在两个压阻传感器元件设置在共同的弹簧上时，可减少所述两个压阻传感器元件的电连接所需的线路的数量。通过减少所需线路的数量可以确保可调元件相对于保持装置更好的可调节性。

在一个优选的实施方式中，第二压阻传感器元件与第一压阻传感器元件设置在同一弹簧上或者同一弹簧中。在此情况下，在弹簧扭转或弯曲时，相对较大的机械应力被施加到两个传感器元件中的至少一个上。

优选地，两个传感器装置被如此设计，使得第一传感器装置不检测/确定作用到第二传感器元件上的第一机械应力，第二传感器装置不检测/确定作用到第一传感器元件上的机械应力。

特别地，具有两个压阻传感器元件的弹簧可以被构造为外部弹簧。在此情况下，具有两个压阻传感器元件的弹簧被设计用于与保持装置的直接接触。因此消除了通常在引导线路通过至少一个弹簧时出现的问题。特别地，避免了损害被引导通过弹簧的线路的风险。

此外，对于特定的变型方案，需要通过外部弹簧引导两个电位(地电位和多个100V范围内的可变信号)，用于真正的控制。这样高的电压通常可以干扰选择信号。因此，优选地在外部弹簧上进行探测。

在以上所述段落中描述的微机械构件的优点在用于微机械构件的相应制造方法中也可以得到保证。

附图说明

以下根据附图阐述本发明的其他特征和优点，其中：