[发明专利]微机械构件和微机械构件的制造方法

权利要求书

1.微机械构件，具有：

一个支架(55)；

一个可调元件(10)；

一个外部定子电极组件(28)和一个外部执行器电极组件(24)，所述外部执行器电极组件(24)通过至少一个外弹簧(53，81，90，94，98，100)与支架(55)相连，所述可调元件(10)这样耦合到所述外部执行器电极组件(24)上，使得可通过在外部执行器电极组件(24)和外部定子电极组件(28)之间施加第一电压来绕第一旋转轴线(12)相对于所述支架(55)调整所述可调元件(10)；以及

一个内部定子电极组件(30)和一个内部执行器电极组件(26)，所述内部执行器电极组件(26)包括带有至少一个电极指(26a，26b)的第一梁(50)，该第一梁(50)沿着不平行于第一旋转轴线(12)的第二旋转轴线(14)定向，该可调元件(10)这样耦合到所述内部执行器电极组件(26)上，使得可通过在所述内部执行器电极组件(26)的至少一个电极指(26a，26b)和所述内部定子电极组件(30)之间施加第二电压来绕第二旋转轴线(14)相对于所述支架(55)调整所述可调元件(10)；

其特征在于，

设置有一个沿着第二旋转轴线(14)定向的中间弹簧(52)，通过该中间弹簧将所述内部执行器电极组件(26)与所述外部执行器电极组件(24)相连。

2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述中间弹簧(52)的与该中间弹簧(52)绕第二旋转轴线(14)的扭转相关的第一弹簧刚度小于抵抗所述外部执行器电极组件(24)绕第二旋转轴线(14)的旋转运动的所述至少一个外弹簧(53，81，90，94，98，100)的第二弹簧刚度。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述外部执行器电极组件(24)包括带有至少一个电极指(24a)且不平行于第一梁(50)的第二梁(54)。

4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述外部执行器电极组件(24)包括一板式电极(86)。

5.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述内部执行器电极组件(26)是朝向相邻的外部执行器电极组件(24)的一侧具有一凹槽，中间弹簧(52)至少部分地穿过该凹槽延伸。

6.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述外部执行器电极组件(24)和/或所述外部定子电极组件(28)的电极面(28a-1，28a-2)被第二旋转轴线(14)划分成布置于第二旋转轴线(14)第一侧的第一电极面(28a-1)和布置于第二旋转轴线(14)第二侧的第二电极面(28a-2)，并且，第一电极面(28a-1)这样耦合到至少一个第一导线上，使得可将第一电位施加在所述第一电极面(28a-1)上，第二电极面(28a-2)这样耦合到至少一个第二导线上，使得可将与第一电位不同的第二电位施加在所述第二电极面(28a-2)上。

7.根据权利要求6所述的微机械构件，其中，所述微机械构件包括一控制装置，该控制装置设计用于使第一电位施加在第一电极面(28a-1)上并且第二电位施加在第二电极面(28a-2)上，该控制装置附加用于在考虑关于在所述内部执行器电极组件(26)的所述至少一个电极指(26a，26b)与所述内部定子电极组件(30)之间施加的第二电压和/或所述内部执行器电极组件(26)的所述至少一个电极指(26a，26b)相对于所述内部定子电极组件(30)的当前位置的信息的情况下确定第一电位和第二电位之间的差。

8.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述至少一个外弹簧(53，90，94，98)包括一平行于第一旋转轴线(12)的弹簧(53，90，94，98)，该弹簧构造成回曲形翻转弹簧(53)、扭簧(90)、V形弹簧(94)和/或两侧夹紧的弯曲弹簧(98)。

9.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述至少一个外弹簧(81，100)包括一平行于第二旋转轴线(14)的弹簧，该弹簧构造成弯曲弹簧(81)和/或回曲形弹簧(100)。