[发明专利]带有改进幅材传输系统的卷对卷沉积设备

权利要求书

1.一种在衬底材料幅材上连续沉积半导体材料的卷对卷系统，其中在所述设备的运行时所述衬底材料幅材连续通过其前进，其中所述系统包括多个幅材支撑组件，所述幅材支撑组件随着所述幅材穿过所述系统而啮合并且引导所述幅材，每个幅材支撑组件都包含：

基底；

主支撑臂，其枢转安装在所述基底上以便可相对于所述主支撑臂从第一位置移动至第二位置；

第一偏压构件，其机械连接所述主支撑臂，所述第一偏压构件可操作以向所述主支撑臂施加第一偏压力，以便将所述主支撑臂从其第一位置移至其第二位置；

摆动臂，其枢转安装在所述主支撑臂上，以便可相对于所述主支撑臂从第一位置移动至第二位置；

第二偏压构件，其机械连接所述摆动臂，所述第二偏压构件可操作以向所述摆动臂施加第二偏压力，以便将所述摆动臂从其第一位置移至其第二位置；以及

幅材支撑滚筒，其由所述摆动臂可转动地支撑，所述滚筒经配置从而啮合所述幅材的一部分。

2.根据权利要求1所述的系统，在所述幅材支撑组件中，所述第一偏压力比所述第二偏压力更大。

3.根据权利要求1所述的系统，其中在所述幅材支撑组件中，所述第一偏压构件和所述第二偏压构件从以下装置组成的组中选择：弹簧、弹性体、气压缸、液压缸、磁性体及其组合。

4.根据权利要求1所述的系统，其中在所述幅材支撑组件中，所述第一偏压构件是在所述主支撑臂和所述基底之间延伸的弹簧。

5.根据权利要求1所述的系统，其中在所述幅材支撑组件中，所述第二偏压构件是在所述摆动臂和所述主支撑臂之间延伸的弹簧。

6.根据权利要求1所述的系统，其中在所述幅材支撑组件中，所述幅材支撑滚筒包括凹槽，其经配置从而啮合所述幅材的边缘。

7.根据权利要求6所述的系统，其中所述凹槽为非对称凹槽。

8.根据权利要求6所述的系统，其中所述凹槽包括第一面和第二面，并且其中所述第一面和所述第二面形成90度角。

9.根据权利要求6所述的系统，其中所述凹槽被配置成使得所述凹槽包括第一面和第二面，并且其中所述各面与所述衬底建立夹卡接触，以便所述衬底的末端表面不接触所述凹槽的底部。

10.根据权利要求6所述的系统，其中所述滚筒被配置成使得当所述衬底材料幅材被置于所述凹槽之内时，所述凹槽的第一面与所述幅材的第一面形成第一角A，并且所述凹槽的第二面与所述幅材的第二面形成第二角B，并且其中角A与角B不同。

11.根据权利要求10所述的系统，其中角A和角B互余。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底幅材沿竖直方向连续前进通过所述系统，并且其中所述多个衬底支撑组件中的至少一些啮合所述幅材的下部边缘。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述多个衬底支撑组件中的至少一个啮合所述幅材的上部边缘。

14.根据权利要求12所述的系统，其中所述多个衬底支撑组件中的至少一个与其他幅材支撑组件相比具有不同的构造。

15.根据权利要求1所述的系统，其中在所述系统运行时，多个衬底材料幅材连续通过其前进，并且其中所述幅材支撑组件随着所述多个幅材穿过所述系统而啮合和引导所述幅材。

16.根据权利要求15所述的系统，其中所述系统包含第一幅材支撑组件和第二幅材支撑组件，其经配置以便多个幅材中的第一幅材和第二幅材具有间隔开的基本平行关系。

17.根据权利要求16所述的系统，其中所述第一幅材支撑组件的幅材支撑滚筒被配置成关于所述第二幅材支撑组件独立于所述第二幅材与滚筒的交互作用而支撑/引导所述第一幅材。

18.根据权利要求17所述的系统，其中所述第一和第二幅材支撑组件连结到公共的基底。

19.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统可操作以在所述衬底材料幅材上沉积光电半导体材料。