[发明专利]涂布设备和涂布方法

权利要求书

1.涂布设备(1)，其包含至少一个用于接收基材(30)的可抽真空的接收装置(10)、至少一个用于将至少一种气态前体导入接收装置(10)中的气体供应装置(20，21，22)以及至少一个具有可预先确定的纵向长度并利用至少一个所属的机械固定装置(44)加以固定的可加热的活化元件(40)，其特征在于，经由至少两个接触元件(43)向活化元件(40)供应电流，其中以相对于接收装置(10)几乎不移动的方式固定接触元件(43)，及以相对于接收装置可移动的方式设置活化元件(40)。

2.根据权利要求1的涂布设备(1)，其特征在于，活化元件的纵向长度完全设置在接收装置中。

3.根据权利要求1或2的涂布设备(1)，其特征在于，活化元件(40)包含至少一根线材(41)。

4.根据权利要求1至3之一的涂布设备(1)，其特征在于，接触元件(43)包含至少一个用于与活化元件(40)接触的滚筒(46)。

5.根据权利要求3或4的涂布设备(1)，其特征在于，线材(41)被引导多次通过活性区(50)。

6.根据权利要求1至5之一的涂布设备(1)，其特征在于，多个接触元件(43)沿着活化元件(40)的纵向长度排列，它们均施加有可预先确定的电势差。

7.根据权利要求1至6之一的涂布设备(1)，其特征在于，机械固定装置(44)是电绝缘的。

8.根据权利要求1至7之一的涂布设备(1)，其特征在于，活化元件(40)是通过机械固定装置(44)的平移移动而相对于接收装置进行移动。

9.根据权利要求1至7之一的涂布设备(1)，其特征在于，活化元件(40)是通过机械固定装置(44)的转动而在接收装置内进行移动。

10.用于制造基材(30)的涂层(105)的方法，其中将基材引入可抽真空的接收装置(10)中，通过至少一个气体供应装置(20，21，22)将至少一种气态前体引入接收装置(10)中，并利用至少一个电加热的活化元件(40)加以活化，其中利用至少两个接触元件(43)向活化元件(40)供应电流，其特征在于，将至少一个接触元件(43)几乎位置固定地设置在接收装置中，并且活化元件(40)相对于接收装置移动。

11.根据权利要求10的方法，其特征在于，所述移动以振荡的方式进行。

12.根据权利要求10或11的方法，其中活化元件(40)通过机械固定装置(44)的转动而在接收装置中移动。

13.根据权利要求10至12之一的方法，其中活化元件(40)通过机械固定装置(44)的平移移动而相对于接收装置移动。

14.根据权利要求10至13之一的方法，其中活化元件(40)包含至少一根线材(41)。

15.根据权利要求14的方法，其中线材(41)多次通过活性区(50)。

16.根据权利要求10至15之一的方法，其中多个接触元件(43)沿着活化元件(40)的纵向长度与其接触，并且每个接触元件(43)均施加有可预先确定的电势差。