[发明专利]氧化物烧结体、其制造方法以及氧化物烧结体制造用原料粉末

权利要求书

1.一种氧化物烧结体，为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)和氧(O)，由式InxGayZnzOa表示的氧化物烧结体，式中，x/(x+y)为0.2～0.8、z/(x+y+z)为0.1～0.5、a＝(3/2)x+(3/2)y+z，其特征在于，该氧化物烧结体中含有的挥发性杂质的浓度为20ppm以下。

2.如权利要求1所述的氧化物烧结体，其特征在于，挥发性杂质含有选自氯化合物、硝酸化合物、硫酸化合物、铵化合物中的一种以上。

3.如权利要求1或2所述的氧化物烧结体，其特征在于，挥发性杂质为氯化合物。

4.如权利要求1至3中任一项所述的氧化物烧结体，其特征在于，挥发性杂质为氯与镓的化合物。

5.如权利要求1至4中任一项所述的氧化物烧结体，其特征在于，相对密度为95％以上，体电阻值为5.0×10^-2Ωcm以下。

6.如权利要求5所述的氧化物烧结体，其特征在于，相对密度为98％以上。

7.如权利要求5所述的氧化物烧结体，其特征在于，相对密度为99％以上。

8.一种氧化物烧结体的制造方法，用于制造包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)和氧(O)，由式InxGayZnzOa表示的氧化物烧结体，式中，x/(x+y)为0.2～0.8、z/(x+y+z)为0.1～0.5、a＝(3/2)x+(3/2)y+z，其特征在于，使用挥发性杂质浓度各自为20ppm以下的氧化铟、氧化镓和氧化锌原料粉末进行烧结。

9.如权利要求8所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于，挥发性杂质含有选自氯化合物、硝酸化合物、硫酸化合物、铵化合物中的一种以上。

10.如权利要求8或9所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于，挥发性杂质为氯化合物。

11.如权利要求8至10中任一项所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于，挥发性杂质为氯与镓的化合物。

12.一种氧化物烧结体制造用原料粉末，其包含挥发性杂质浓度各自为20ppm以下的氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末。

13.如权利要求12所述的氧化物烧结体制造用原料粉末，其特征在于，挥发性杂质含有选自氯化合物、硝酸化合物、硫酸化合物、铵化合物中的一种以上。

14.如权利要求12或13所述的氧化物烧结体制造用原料粉末，其特征在于，挥发性杂质为氯化合物。

15.如权利要求12至14中任一项所述的氧化物烧结体制造用原料粉末，其特征在于，挥发性杂质为氯与镓的化合物。