[发明专利]用于制造磨料线的设备和方法无效
申请号: | 201080025005.X | 申请日: | 2010-05-18 |
公开(公告)号: | CN102458768A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 文卡塔·R·巴拉伽纳;迈斯·彼得·范德梅尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B24D11/00 | 分类号: | B24D11/00;B23D61/18;B24B27/06;B24D3/00 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 磨料 设备 方法 | ||
1.一种磨料涂覆线,其包括:
芯线,其具有耦接至所述芯线的外表面的对称图案的磨料颗粒;和
介电膜,其覆盖所述芯线在所述磨料颗粒之间的部分。
2.如权利要求1所述的磨料涂覆线,其中,所述磨料颗粒包括金刚石颗粒。
3.如权利要求2所述的磨料涂覆线,其中,所述对称图案包括所述芯线上的双螺旋图案。
4.如权利要求3所述的磨料涂覆线,其中,所述双螺旋图案包括在相反方向上设置在所述芯线上的第一螺旋线和第二螺旋线。
5.如权利要求2所述的磨料涂覆线,其中,所述金刚石颗粒具有基本均匀的尺寸。
6.如权利要求2所述的磨料涂覆线,其中,所述金刚石颗粒的每一个被基本相等地隔开。
7.一种磨料涂覆线,其包括:
芯线,其由金属材料制成;和
基本相同尺寸的单独金刚石颗粒,所述金刚石颗粒以对称图案耦接至所述金属材料的外表面,留下暴露于相邻金刚石颗粒之间的所述金属材料的部分。
8.如权利要求7所述的磨料涂覆线,其中,所述对称图案包括螺旋图案。
9.如权利要求7所述的磨料涂覆线,其中,所述对称图案包括双螺旋图案。
10.如权利要求9所述的磨料涂覆线,其中,所述双螺旋图案包括在相反方向上设置在所述芯线上的第一螺旋线和第二螺旋线。
11.如权利要求7所述的磨料涂覆线,其中,所述金刚石颗粒的每一个被基本相等地隔开。
12.一种磨料涂覆线,其包括:
芯线,其具有单独金刚石颗粒的螺旋图案,所述金刚石颗粒耦接至所述芯线的外表面,所述金刚石颗粒具有基本相同尺寸。
13.如权利要求12所述的磨料涂覆线,其中,所述芯线包括金属材料,所述金属材料在单独金刚石颗粒之间的部分是暴露的。
14.如权利要求12所述的磨料涂覆线,其中,所述螺旋图案包括双螺旋图案。
15.如权利要求14所述的磨料涂覆线,其中,所述双螺旋图案包括在相反方向上设置在所述芯线上的第一螺旋线和第二螺旋线。
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