[发明专利]物体检查系统和方法

权利要求书

1.一种物体检查系统，包括：

布置用于发射参照辐射束的辐射源；

布置用以发射入射至将要被检查的物体上的探测辐射束的辐射源；

一个或多个光学元件，布置成用干涉测量法结合所述参照辐射束和所述探测辐射束；

存储介质，布置用以存储参照物的复场图像；和

比较器，布置用于对比将要被检查的物体的复场图像和存储的参照物的复场图像。

2.如权利要求1所述的物体检查系统，还包括分束器，并且其中单一辐射源发射辐射束，其与分束器相互作用以形成参照辐射束和探测辐射束。

3.如权利要求1或2所述的物体检查系统，其中所述一个或多个光学元件包括反射元件，所述反射元件布置用于使参照辐射束偏转、以便提供所述参照辐射束作为倾斜的参照辐射束用于与探测辐射束干涉。

4.如权利要求1-3中任一项所述的物体检查系统，其中所述存储介质包括光学存储装置。

5.如权利要求4所述的物体检查系统，其中所述光学存储装置包括全息板或晶体。

6.如权利要求4或5所述的物体检查系统，其中具有所存储的参照物的复场图像的存储介质以与从将被检查的物体反射的探测辐射束相反的相位被放置，使得仅传送被检查的物体的复场图像与存储的参照物的复场图像之间的差异。

7.如权利要求1或2所述的物体检查系统，其中所述一个或多个光学元件包括相移装置，所述相移装置在参照辐射束与探测辐射束结合之前将相移引入至参照辐射束。

8.如权利要求7所述的物体检查系统，其中所述相移装置能够应用可选择的相移。

9.如权利要求7或8所述的物体检查系统，还包括：图像传感器，其检测从用干涉测量法结合的参照辐射束和探测辐射束获得的干涉图案；和计算机，用于将多个检测的干涉图案结合以获得检查时物体的复场图像，和包括所述存储介质。

10.如权利要求7-9中任一项所述的物体检查系统，其中所述相移装置包括电光调节器。

11.如权利要求7-9中任一项所述的物体检查系统，其中所述相移装置包括相位阶跃装置，其包括一对传播方向相反的光楔。

12.如权利要求7-11中任一项所述的物体检查系统，其中所述辐射源或每个辐射源包括白光辐射源。

13.如权利要求12所述的物体检查系统，其中所述比较器布置用以解译光谱信息。

14.如前述权利要求中任一项所述的物体检查系统，其中获得暗场图像。

15.如前述权利要求中任一项所述的物体检查系统，包括反射元件，所述反射元件使镜面反射束偏转朝向参照辐射路径并允许包括非零级的反射束沿探测辐射路径传播。

16.如前述权利要求中任一项所述的物体检查系统，包括监测光源，所述监测光源布置成监测参照辐射束和探测辐射束之间的光程差，并将所述光程差传送至比较器、使得存储的干涉图案与参照复场图像的对比考虑到被检查物体的振动。

17.如前述权利要求中任一项所述的物体检查系统，包括辐射传感器，所述辐射传感器布置成从参照辐射束和探测辐射束中的一个或两者收集强度噪声数据。

18.如前述权利要求中任一项所述的物体检查系统，其中将要被检查的物体包括由下列项构成的组中的至少一个：掩模版、EUV掩模版以及具有非周期性图案的掩模版。

19.一种检查物体的方法，包括：

用干涉测量法结合参照辐射束与探测辐射束、以获得物体的复场图像；

存储物体的复场图像；和

将物体的复场图像与参照复场图像对比。

20.如权利要求19所述的方法，其中所述参照辐射束与探测辐射束由单一辐射源得出，所述单一辐射源的输出束被分成所述参照辐射束和探测辐射束。

21.如权利要求19或20所述的方法，其中从前面检查的物体获得参照复场图像。