[发明专利]圆筒体的表面检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查圆筒体的表面状态的圆筒体的表面检查装置及其相关技术。

背景技术

在感光鼓用基体等圆筒体，要求较高的表面精度，所以进行表面检查，将具有伤痕、凹凸、异物附着、污垢等表面缺陷部的圆筒体排除。

例如下述专利文献1所公开的圆筒体的表面检查装置如图8所示，从相对于圆筒体W配置在侧上方部的光源101向圆筒体W照射照明光L，另一方面通过照相机102拍摄其正反射光(反射光图像)Lr，基于该拍摄数据，检测圆筒体1的表面缺陷。

但是近年来，作为构成检查对象的圆筒体W的感光鼓用基体，多采用对通过挤压加工得到的挤压管进行拉拔加工而制作的构件。如图9所示在通过拉拔加工得到的圆筒体W，形成于表面的凹凸部等会成为缺陷的部分在多数的情况下以与轴心方向(长度方向)X平行地延伸的方式形成为条状。这样的条状凹部D和/或凸部中，比较浅的条状凹部Da不构成缺陷，与此相对比较深或者在边缘具有毛刺的条状凹部Db构成缺陷，在形成有这样的构成缺陷的条状凹部Db的情况下，作为不良品而处理。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：特开平7-140079号

专利文献2：特开2002-71576号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述专利文献1所示的以往的圆筒体检查装置中，如下所说明那样，不能正确地区别不构成缺陷的未缺陷条状凹部Da与构成缺陷的缺陷条状凹部Db，例如将形成于圆筒体表面的条状凹部D等条状凹凸部全都检测出来，具有检查精度下降的问题。

即如图10所示，在上述以往的圆筒体检查装置中，在圆筒体表面上的没有凹部D等凹凸的区域，从光源101照射的照明光L被圆筒体表面反射，其正反射光Lr被照相机102获取，另一方面，在具有凹部D等的区域，照明光L被凹部D的内周侧面漫反射，漫反射光Ld不会被照相机102接收。这样通过正反射光Lr的光量差检测凹部D，所以虽然凹部D的深度和/或形状稍有不同，但只要是凹部D就全都检测出来，不能正确地区别未缺陷条状凹部Da与缺陷条状凹部Db，具有检查精度下降的问题。

本发明的优选的实施方式是鉴于相关技术中的上述的以及/或者其他的问题点而进行的。本发明的优选的实施方式能够使现有的方法以及/或者装置显著提高。

本发明是鉴于上述的课题而进行的，其目的在于提供能够正确地仅检测条状凹凸部中构成缺陷的条状凹凸部、具有较高的检查精度的圆筒体的表面检查装置及其相关技术。

本发明的其他的目的以及优点可从下面的优选的实施方式变得明了。

但是，作为通过反射光进行检查对象物的表面检查的方法，如上述专利文献2所示，使用同轴落射照明的表面检查方法众所周知。该表面检查方法使照明光相对于检查对象物表面同轴落射，通过照相机识别其反射光图像而检测表面缺陷部。该表面检查方法通过相对于检查面垂直反射的正反射光图像检测表面状态，所以能够高精度检查表面状态。

因此本发明申请人提案使用该同轴落射照明进行圆筒体的表面检查的方法。即如图5、6所示，在圆筒体W的侧上方部配置光源101，并且在圆筒体W的上方配置半透半反镜103，进而在半透半反镜103的上方配置照相机102。从而通过半透半反镜103使从光源101照射的照明光L反射，使该反射的照明光L相对于圆筒体W从垂直上方同轴落射。进而通过圆筒体表面使该照明光L向垂直上方反射，使该反射光Lr透过半透半反镜103，由照相机102获取。

根据该检查方法，如图4A所示，在较浅的条状凹部D即未缺陷条状凹部Da的区域，脱离照相机102的光轴的漫反射光Ld较少，与此相对，如图4B所示，在较深的条状凹部D即缺陷条状凹部Db的区域，脱离照相机102的光轴的漫反射光Ld增多。因此根据照相机102所获取的光接收量的不同，能够区别未缺陷条状凹部Da以及缺陷条状凹部Db，能够正确地仅检测条状凹部D中具有缺陷的条状凹部D。

但是，本发明申请人在继续进行严密的实验以及研究时，判明了该提案技术也难以可靠地得到较高的检查精度。