[发明专利]在经加热的基材上打印的方法及装置

权利要求书

1.一种用于配送材料于经加热基材上的打印装置，该装置包含：

打印头，其具有一个或多个喷嘴；及

热量屏蔽件，其当打印时部份地屏蔽面对该经加热基材的该打印头的一侧，以便降低从该基材至该打印头的热量转移，该屏蔽件包括一对准于该一个或多个喷嘴的槽，以使材料能够从该一个或多个喷嘴通至该经加热基材。

2.根据权利要求1所述的装置，其中该屏蔽件包含一导管，以传导一液体冷却剂。

3.根据权利要求1所述的装置，其中该屏蔽件的一往外表面对于热红外线辐射具反射性。

4.根据权利要求1所述的装置，其中该屏蔽件包含一热传导材料。

5.根据权利要求1所述的装置，其中该屏蔽件包含铝或铜。

6.根据权利要求1所述的装置，其中面对该打印头的该屏蔽件的一往内表面涂覆有一非湿润涂覆物。

7.根据权利要求1所述的装置，包含一被连接至该屏蔽件与该打印头之间的一空间的空气导管，以诱发该屏蔽件与该打印头之间的空气运动。

8.根据权利要求1所述的装置，进一步包含：

空气吸取单元，其耦合至当打印时面对该经加热基材的该屏蔽件的一侧中的一空气开口。

9.一种用于在经加热基材上沉积的非接触沉积方法，该方法包含下列步骤：

加热一基材；及

自一具有一个或多个喷嘴的打印头将材料沉积于该经加热基材上，其中该打印头由一部份屏蔽面对该经加热基材的该打印头的一侧的热量屏蔽件所屏蔽，以便降低从该基材至该打印头的热量转移，其中该屏蔽件包括一对准于该一个或多个喷嘴的槽，以使该材料能够从该一个或多个喷嘴通至该经加热基材。

10.根据权利要求9所述的方法，包含使一液体冷却剂流通经过该屏蔽件的一导管。

11.根据权利要求9所述的方法，其中该材料为电传导性的且该基材为一半导体晶圆。

12.根据权利要求9所述的方法，包含诱发该屏蔽件与该打印头之间的一气体流。

13.根据权利要求9所述的方法，包含操作一空气吸取装置，以从该经加热基材与该屏蔽件之间的一区域收集气体烟气。

14.根据权利要求11所述的方法，其中加热该基材包含加热该基材至100℃到300℃的一温度。