[发明专利]用于识别处理模块级失控事件的装置及其方法

权利要求书

1.一种用于检测衬底处理期间等离子体处理系统的处理室内现场快速瞬时事件的方法，所述方法包括：

分析由成组的传感器收集的第一数据集，其中所述分析包括将所述第一数据集同成组的标准比较从而确定所述第一数据集是否包括潜在现场快速瞬时事件，其中所述成组的标准定义成组的现场快速瞬时事件；

如果所述第一数据集包括所述潜在现场瞬时事件，则保存出现在所述潜在现场快速瞬时事件发生期间内的电信号特征；

将所述电信号特征同成组的存储的电弧信号特征比较；

如果确定匹配，则将所述电信号特征分类为第一现场快速瞬时事件；以及

依据成组的预定的阈值范围确定所述第一现场快速瞬时事件的严重程度级别。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据集的所述分析包括执行快速取样瞬时算法。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述快速取样瞬时算法由传感器控制器执行。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述快速取样瞬时算法由计算模块执行，其中所述计算模块被配置为至少耦合于传感器和传感器控制器两者中的一者。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述快速取样瞬时算法由分析模块执行，所述分析模块被配置为直接与所述成组的传感器中的传感器相互作用。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述分析模块为处理模块级分析服务器，所述处理模块级分析服务器被配置为为每一个处理模块和与所述每一个处理模块关联的成组的传感器执行分析。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括依据所述第一现场快速瞬时事件的所述严重程度级别确定行动程序。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一现场快速瞬时事件为微电弧事件。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据集由能够执行高取样率的快速瞬时传感器收集。

10.根据权利要求1所述的方法，其中如果所述电信号特征与所述成组的存储的电弧信号特征中的一个不匹配，则所述电信号特征作为非快速瞬时事件信号特征被添加到库中。

11.一种用于检测等离子体处理系统的处理室内现场快速瞬时事件的装置，其中所述处理室包括配置为在衬底处理期间收集数据的多数个传感器，所述装置包括：

快速取样瞬时算法模块，其被配置为用于将所述数据同成组的标准比较并从所述数据中提取电信号特征，其中所述成组的标准定义成组的预定的现场快速瞬时事件；和

分析模块，其中所述分析模块与所述快速取样瞬时算法模块直接通信，其中所述分析模块被配置为用于执行至少接收所述电信号特征，

将所述电信号特征与成组的存储的电弧信号特征比较，

如果匹配发生，则将所述电信号特征分类为快速瞬时事件，以及

依据预定的成组的阈值范围确定用于所述快速瞬时事件的严重程度级别。

12.根据权利要求11所述的装置，进一步包括库，其中所述库被配置为用于存储所述成组的存储的电弧信号特征。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述库被配置为用于存储非快速瞬时信号特征。

14.根据权利要求11所述的装置，其中分析模块被配置为当在所述衬底处理期间识别到所述快速瞬时事件时直接发送所述行动程序给处理模块控制器。

15.根据权利要求11所述的装置，其中所述分析模块进一步被配置为依据所述快速瞬时事件的所述严重程度级别确定行动程序。

16.根据权利要求11所述的装置，其中所述快速瞬时事件为微电弧事件。

17.根据权利要求11所述的装置，其中所述快速取样瞬时算法模块由分析模块控制，所述分析模块被配置为直接与所述多数个传感器相互作用。

18.根据权利要求11所述的装置，其中所述分析模块为处理模块级分析服务器，所述处理模块级分析服务器被配置为为每一个处理模块和与所述每一个处理模块关联的成组的传感器执行分析。