[发明专利]用于从熔化坩埚中拉制石英玻璃柱体的方法和装置有效
申请号: | 201080029079.0 | 申请日: | 2010-06-15 |
公开(公告)号: | CN102471118A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | H·勒贝尔;R·贝格;N·怀佩 | 申请(专利权)人: | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
主分类号: | C03B17/04 | 分类号: | C03B17/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 肖日松;杨国治 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 熔化 坩埚 拉制 石英玻璃 柱体 方法 装置 | ||
1.一种用于从熔化坩埚(1)中拉制石英玻璃柱体的方法,所述熔化坩埚(1)包括坩埚内腔(5),其在坩埚中轴线(6)的方向上延伸且由侧壁和底部(7)限定,在其中,SiO2颗粒(3)被供应给所述熔化坩埚(1),在其中被软化成粘性的石英玻璃料(9)且其借助于第一拉出装置(12a)通过设置在所述熔化坩埚(1)的底部(7)中的第一拉模(4a)被竖直向下拉出为柱形的石英玻璃束(11a)且所述石英玻璃柱体从中通过剪切产生,其特征在于,至少一个第二石英玻璃束(11b)通过至少一个另外的设置在所述熔化坩埚(1)的底部(7)中的第二拉模(4b)被拉出,其中,所述第一拉模(4a)和所述第二拉模(4b)彼此间隔地且偏心于所述坩埚中轴线(6)地布置。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一拉模(4a)和所述第二拉模(4b)彼此间具有至少20mm、优选地至少50mm的间距。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述拉模(4a;4b)绕所述坩埚中轴线(6)均匀分布地布置。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,设置有正好两个拉模(4a;4b),其在所述坩埚中轴线(6)处相对而置。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,通过所述第一拉模(4a)拉出带有第一质量流的石英玻璃束(11a),而通过所述第二拉模(4b)拉出带有第二质量流的石英玻璃束(11b),其中,第一和第二质量流最大区别100%(相对于所述质量流中的较小者)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,第一和第二拉模(4a;4b)的开口横截面最大为50cm2。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,使用第二拉出装置(12b),借助于其拉出从所述第二拉模(4b)中离开的所述石英玻璃束(11b)。
8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第一拉出装置(11a)具有第一滚动牵引器,其在第一延伸截段上沿着所述坩埚中轴线(6)延伸,而所述第二拉出装置(11b)具有第二滚动牵引器,其在第二延伸截段上沿着所述坩埚中轴线(6)延伸,这样使得第一和第二滚动牵引器的所述延伸截段不相交。
9.一种用于拉制石英玻璃柱体的装置,其带有:用于容纳SiO2颗粒(3)的熔化坩埚(1),其包括柱形的坩埚内腔(5),所述坩埚内腔(5)在坩埚中轴线(6)的方向上延伸且由侧壁和底部(7)限定;用于软化所述SiO2颗粒(3)的加热装置(13);以及设置在所述熔化坩埚(1)的底部(7)中的第一拉模(4a);和用于通过所述第一拉模(4a)拉出石英玻璃束(11a)的第一拉出装置(12a),其特征在于,在所述熔化坩埚(1)的底部(7)中设置有至少一个另外的第二拉模(4b),且第一拉模(4a)和第二拉模(4b)彼此间隔地且偏心于所述坩埚中轴线(6)地布置。
10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,所述第一拉模(4a)和所述第二拉模(4b)彼此间具有至少20mm、优选地至少50mm的间距。
11.根据权利要求9或10所述的装置,其特征在于,所述拉模(4a;4b)绕所述坩埚中轴线(7)均匀分布地布置。
12.根据前述权利要求9至11中任一项所述的装置,其特征在于,设置有正好两个拉模(4a;4b),其在所述坩埚中轴线(7)处相对而置。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的装置,其特征在于,第一和第二拉模(4a;4b)的开口横截面相应地最大为50cm2。
14.根据前述权利要求9至13中任一项所述的装置,其特征在于,第二拉出装置(12b)设置用于拉出从所述第二拉模(4b)中离开的石英玻璃束(11b)。
15.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述第一拉出装置(12a)具有第一滚动牵引器,其在第一延伸截段上沿着所述坩埚中轴线(6)延伸,而所述第二拉出装置(12b)具有第二滚动牵引器,其在第二延伸截段上沿着所述坩埚中轴线(6)延伸,这样使得第一和第二滚动牵引器(12a;12b)的所述延伸截段不相交。
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