[发明专利]遮光膜用着色组合物,遮光图案,其形成方法,固体摄像装置及其制造方法有效
申请号: | 201080029240.4 | 申请日: | 2010-07-07 |
公开(公告)号: | CN102471616A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 田中达哉 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | C09D7/12 | 分类号: | C09D7/12;C09B67/20;C09D4/00;C09D4/02;G02B5/20;G03F7/004 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 陈平 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 遮光 着色 组合 图案 形成 方法 固体 摄像 装置 及其 制造 | ||
1.一种遮光膜用着色组合物,所述遮光膜用着色组合物包含:选自含钛原子的黑钛颜料的至少一种颜料以及选自由红色有机颜料、黄色有机颜料、紫色有机颜料和橙色有机颜料组成的组的至少一种有机颜料,
其中当形成膜以使得在650nm的波长的光透过率为0.2%时,所述着色组合物具有1.5%以下的波长为400至700nm的光的透过率的最大值,具有在400至550nm展现最大透过率的波长,并且在400nm的波长具有0.1%以上的光透过率。
2.根据权利要求1所述的遮光膜用着色组合物,其中所述黑钛颜料(tip)与所述有机颜料(orp)的质量比(tip∶orp)为90∶10至40∶60。
3.根据权利要求2所述的遮光膜用着色组合物,其中相对于所述着色组合物的总固体质量,所述黑钛颜料的含量为20质量%以上。
4.根据权利要求2所述的遮光膜用着色组合物,其中相对于颜料的总质量,所述黑钛颜料的含量为35质量%以上。
5.根据权利要求1所述的遮光膜用着色组合物,其中所述有机颜料的至少一种为:二酮吡咯并吡咯系颜料、苝系颜料、苯并咪唑酮系颜料、芘酮系颜料、萘酚AS系颜料、蒽醌系颜料、吡唑啉酮系颜料或异吲哚啉酮系颜料。
6.根据权利要求1所述的遮光膜用着色组合物,所述遮光膜用着色组合物是可光固化的并且还包含树脂、可聚合化合物和光聚合引发剂。
7.根据权利要求6所述的遮光膜用着色组合物,所述遮光膜用着色组合物用于制备用于固体摄像装置的滤色片。
8.根据权利要求1所述的遮光膜用着色组合物,其中相对于所述着色组合物的总固体含量,包含所述黑钛颜料和所述有机颜料的总的颜料的含量为15至60质量%。
9.根据权利要求6所述的遮光膜用着色组合物,其中所述树脂是具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的树脂。
10.根据权利要求6所述的遮光膜用着色组合物,其中所述光聚合引发剂是肟系光聚合引发剂。
11.根据权利要求1所述的遮光膜用着色组合物,所述遮光膜用着色组合物还包含具有50mgKOH/g以上的酸值的分散剂。
12.一种用于形成遮光图案的方法,所述方法包括:
将权利要求6所述的遮光膜用着色组合物设置在载体上以形成着色膜;
将所述着色膜以图案形状形式曝光;和
将曝光之后的所述着色膜显影以形成遮光图案。
13.一种遮光膜,所述遮光膜包含:选自含钛原子的黑钛颜料的至少一种颜料以及选自由红色有机颜料、黄色有机颜料、紫色有机颜料和橙色有机颜料组成的组的至少一种有机颜料;
其中当具有650nm的波长的光的透过率为0.2%时,所述遮光膜具有1.5%以下的波长为400至700nm的光的透过率的最大值,具有在400至550nm展现最大透过率的波长,并且在400nm的波长具有0.1%以上的光透过率。
14.一种遮光膜,所述遮光膜通过权利要求12所述的用于形成遮光图案的方法形成。
15.一种用于制造固体摄像装置的方法,所述方法包括:
将权利要求6所述的遮光膜用着色组合物设置在透光部件上以形成着色膜,所述透光部件安置在半导体基板的光接收表面侧上,所述半导体基板至少设置有滤色片和光接收区域;
将所形成的着色膜以图案形状形式曝光;
将曝光之后的所述着色膜显影以形成遮光图案;和
在所述遮光图案形成之后,将所述半导体基板分离为预定元件以制造固体摄像装置。
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