[发明专利]异常检测系统、异常检测方法以及存储介质

权利要求书

1.一种异常检测系统，其用于对处理装置中产生的异常进行检测，该异常检测系统特征在于，包括：

多个超声波传感器，其用于检测在上述处理装置中产生的声发射；

分配单元，其将上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；

触发产生单元，其以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；

触发产生时刻决定单元，其接收上述触发信号来决定触发产生时刻；

数据制作单元，其以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及

数据处理单元，其通过对上述采样数据中的与以由上述触发产生时刻决定单元决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对上述处理装置中产生的异常进行分析。

2.根据权利要求1所述的异常检测系统，其特征在于，

还具备触发信号处理单元，在规定期间内产生了多个上述触发信号时，该触发信号处理单元将多个上述触发信号汇总为一个信号来作为代表触发信号，

上述触发产生时刻决定单元针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。

3.根据权利要求1或2所述的异常检测系统，其特征在于，

还具有滤波器，该滤波器从上述多个超声波传感器的各输出信号中去除噪声。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的异常检测系统，其特征在于，

上述第一频率是10kHz～5MHz，

上述第二频率是500kHz～5MHz。

5.一种异常检测方法，对处理装置中产生的异常进行检测，其特征在于，包括以下步骤：

检测步骤，通过多个超声波传感器来检测在上述处理装置中产生的声发射；

分配步骤，通过分配单元将在上述检测步骤中得到的来自上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；

触发信号产生步骤，通过A/D变换单元以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时通过信号产生单元来产生触发信号；

触发产生时刻决定步骤，通过时刻计数器单元接收上述触发信号来决定上述触发信号的触发产生时刻；

采样数据制作步骤，通过A/D变换单元以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及

数据处理步骤，通过由计算机对上述采样数据中的以在上述触发产生时刻决定步骤中决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间所对应的数据进行波形分析，由此对上述处理装置中产生的异常进行分析。

6.根据权利要求5所述的异常检测方法，其特征在于，

还包括触发信号处理步骤，在上述触发信号产生步骤中在规定期间内产生了多个上述触发信号时，在该触发信号处理步骤中将多个上述触发信号作为代表触发信号而汇总为一个信号，

在上述触发产生时刻决定步骤中，针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。

7.根据权利要求5或6所述的异常检测方法，其特征在于，

还包括噪声去除步骤，在该噪声去除步骤中通过滤波器从在上述分配步骤中得到的上述第一信号和上述第二信号中去除噪声。

8.根据权利要求5～7中的任一项所述的异常检测方法，其特征在于，

上述第一频率是10kHz～5MHz，

上述第二频率是500kHz～5MHz。

9.根据权利要求5～8中的任一项所述的异常检测方法，其特征在于，

上述数据处理步骤包括以下步骤：

切取步骤，从上述采样数据切取与上述固定期间相对应的数据；

第一波形特征量抽取步骤，对通过上述切取步骤切取出的数据采用代表值来进行下采样，在制作得到的下采样数据中存在有效的波形的情况下，从上述下采样数据中抽取波形特征量；

第二波形特征量抽取步骤，对通过上述第一波形特征量抽取步骤抽取出的波形特征量的时刻进行估计，由此减少通过上述切取步骤切取出的数据的分析对象，针对上述分析对象从通过上述切取步骤切取出的数据中抽取波形特征量；以及

判断步骤，进行通过上述第二波形特征量抽取步骤得到的波形特征量与预先设定的异常模式识别模型之间的模式识别，由此判断上述处理装置中产生的异常。