[发明专利]高频加热装置以及高频加热方法

权利要求书

1.一种高频加热装置，对被放置在加热室的被加热物进行加热，所述高频加热装置具有：

至少一个高频电力产生部，产生被设定了频率的高频电力；

可变移相部，使由所述高频电力产生部所产生的高频电力的相位变化；

多个高频电力单元，每个高频电力单元分别具有辐射部以及反向电力检测部，所述辐射部向所述加热室辐射由所述可变移相部改变了相位的高频电力，所述反向电力检测部检测作为由所述辐射部所辐射的高频电力的一部分的、从所述加热室入射到所述辐射部的反向电力；以及

控制部，对所述高频电力产生部设定频率，并且，对所述可变移相部设定移相量，

所述反向电力检测部，

根据由所述控制部对所述高频电力产生部设定的频率，检测反射波的振幅和相位以及穿过波的振幅和相位，所述反射波为一个所述高频电力单元的辐射部所辐射的高频电力的一部分反射后输入到该一个所述高频电力单元的辐射部的、因反射而形成的反向电力，所述穿过波为由其他的所述高频电力单元的辐射部所辐射的高频电力的一部分输入到所述一个高频电力单元的辐射部的反向电力，

所述控制部，

对所述高频电力产生部依次设定多个频率，按照设定的每个频率，使各个所述高频电力单元的所述反向电力检测部检测所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，根据被检测出的多个所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，决定加热被加热物时的、使所述高频电力产生部产生的高频电力的频率以及所述可变移相部的移相量，并对所述高频电力产生部以及所述可变移相部设定决定了的频率和移相量。

2.如权利要求1所述的高频加热装置，

所述控制部使用被检测出的所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，按照每个能够对所述高频电力产生部设定的频率，通过计算，对所述可变移相部的移相量的任意组合的所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位进行估计，根据按照每个频率检测出的所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位、按照每个频率估计的所述可变移相部的移相量的任意组合的所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，决定加热所述被加热物时的、使所述高频电力产生部产生的高频电力的频率以及所述可变移相部的移相量的组合。

3.如权利要求2所述的高频加热装置，

所述控制部从所述任意组合中决定各个所述高频电力单元的所述反向电力检测部检测出的所述反射波和所述穿过波的合计值为最小的所述组合。

4.如权利要求2所述的高频加热装置，

所述反向电力检测部具有正交检波部，该正交检波部通过使用由所述高频电力产生部所产生的高频电力来对所述反向电力进行正交检波，从而检测用于计算所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位的同相检波信号以及正交检波信号。

5.如权利要求4所述的高频加热装置，

所述多个高频电力单元的每一个还具有高频功率放大部，该高频功率放大部对由所述高频电力产生部所产生的高频电力进行放大，且该放大的增益是可变的，

所述控制部进一步设定所述高频功率放大部的放大增益。

6.如权利要求5所述的高频加热装置，

所述高频加热装置具有一个所述高频电力产生部和多个所述高频电力单元，

还具有分配部，该分配部分配由一个所述高频电力产生部所产生的高频电力，并向所述多个高频电力单元供给分配的高频电力。

7.如权利要求6所述的高频加热装置，

所述控制部在一个所述高频电力单元的所述反向电力检测部检测所述穿过波的振幅和相位时，将所述高频电力产生部的频率设定为用于测量所述穿过波的频率，并且，设定所述高频功率放大部的放大增益，以使该一个高频电力单元的所述反射波的振幅比所述穿过波的振幅小。

8.如权利要求6所述的高频加热装置，

所述控制部在一个所述高频电力单元的所述反向电力检测部检测所述反射波的振幅以及相位时，设定所述高频功率放大部的放大增益，以使该一个所述高频电力单元的所述穿过波的振幅比所述反射波的振幅小。

9.如权利要求5所述的高频加热装置，

所述高频加热装置具有多个所述高频电力产生部，多个所述高频电力产生部向多个所述高频电力单元供给产生的多个高频电力。